氧化硅薄膜材料制备技术.pptxVIP

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2025-02-22 发布于四川
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氧化硅薄膜材料制备技术.pptx

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材料制备技术;二氧化硅薄膜材料的制备;二氧化硅薄膜(Si02)具有熔点高、膜层牢固、抗磨耐腐蚀、保护能力强、对光的散射吸收小等独特性能。SiO2薄膜的透明区为160nm～9um，其在200nm～4um波段为无吸收区。;二氧化硅薄膜常用的制备方法;;溶胶凝胶法是将各种添加剂与硅酸乙酯TEOS[Si(OC2H5)4)]和溶剂(通常为乙醇)在一定条件下混合，经过水解、缩聚等反应，形成稳定的溶胶，然后将其涂在Si基底上，随着溶剂的蒸发和缩聚反应的进行，胶体的结构强度增加，溶胶逐渐固化为凝胶，经过干燥和烧结后，在Si基底上形成SiO2膜。;;;;;;;