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摇篮型摆臂式轮廓仪误差修正技术研究.pdf

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    摇篮型摆臂式轮廓仪误差修正技术研究摘要

    摇篮型摆臂式轮廓仪误差修正技术研究

    摘要

    非球面光学元件具有更大的自由度和灵活性，能以较少的元件数量校正像差，提

    高成像质量，减小光学系统的体积和重量，因此在民用、科研与国防等多个领域中发

    挥着重要作用。

    面形精度是评价非球面光学元件品质的关键参数之一，精确可靠的面形检测技术

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