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多晶硅磁控溅射靶材项目安全评估报告
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多晶硅磁控溅射靶材项目安全评估报告
目录
TOC\o1-9序言 4
一、事故原因分析及事故后果预测 4
(一)、事故案例及原因分析 4
(二)、事故后果预测 5
二、评价多晶硅磁控溅射靶材项目概述 6
(一)、被评价单位的基本情况 6
(二)、多晶硅磁控溅射靶材行业企业所在地的自然条件 7
(三)、企业选址及平面布置 9
(四)、生产工艺、装置、储存设施基本情况 10
(五)、建筑、公用工程 11
(六)、安全管理 12
(七)、关于事故应急救援预案的审定 14
三、对策措施与建议 15
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