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同步射频偏压感应耦合等离子体中的耦合效应摘要
摘要
低气压射频等离子体因其独特的各向异性刻蚀特点而在半导体微电子加工领域
有着重要应用。其中射频偏压感应耦合等离子体因其可独立控制离子密度和离子能量
的功能受到工业的青睐。而这种等离子体源由于需要两个功率源驱动，耦合效应不可
避免地存在，导致完全的独立控制并不现实。因此研究人员希望通过增加控制参数以
更好的控制放电过程，其中一种便是通过把功率源间
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