射频电源 课件.pptx

等离子体

等离子体又叫做电浆，是由被剥夺部分电

子的原子及原子被电离后产生的正负电子

组成的离子化气体状物质。

等离子体是物质的第四态，即电离了的

“气体”。

等离子体是一种很好的导电体，利用经过

巧妙设计的磁场可以捕捉、移动和加速等

离子体。

射频

射频（RF）是RadioFrequency的缩写，频

率范围从300KHz～30GHz之间。

射频电流，它是一种高频交流变化电磁波

的简称。

每秒变化小于1000次的交流电称为低频电

流，大于10000次的称为高频电流，而射频

就是这样一种高频电流。

射频电源

射频电源是等离子体配套电源，应用于射

频溅镀，PECVD化学气相沉积，反应离子

蚀刻等设备中。

工作原理

-1

当chamber内部之压力低到某一程度(约10

torr左右)时,气态正离子开始往负电极移动,

负由于受电场作用会加速撞击负电极板,产生

电极板表面原子,杂质分子和离子以及二次

电子(e-)…等,此e-又会受电场作用往正电

e-

e-极方向移动,于移动过程会撞击chamber内之

Ar+Ar

+Ar气体分子(ex.:Ar原子…等),产生Ar+等气

高频电极

态正离子,此Ar+再受电场的作用去撞击负电

极板,又再产生表面原子以及二次电子(e-

)…等,如此周而复始之作用即为Plasma产生

13.56MHz

之原理.

MC2

R601

AT6M

RFGeneratorATMatchingNetworksandControllers

AC/DC电功放

源模块模块

功率检控制

测模块模块

匹配器

射频自动匹配器主要用于将等离子体腔体

的阻抗匹配成便于全固态射频电源输出最

大功率的阻抗,减小输入信号的反射损耗。

AC/DC模块

AC/DC模块将输入的220V交流电转换成功放，

控制模块功率检测模块所需的直流电压。

功放模块

功放模块的功能是通过多级射频功率放大

将晶振产生的特定频率的小信号放大到所

需要的射频功率。

全固态射频电源的功放采用RFMOSFET为元

器件。

MOSFET

金属-氧化层-半导体-场效晶体管，简称金

氧半场效晶体管（Metal-Oxide-

SemiconductorField-EffectTransistor,

MOSFET）是一种可以广泛使用在模拟电路

与数字电路的场效晶体管。

MOSFET依照其“通道”的极性不同，可分

为n-type与p-type的MOSFET，通常又称为

NMOSFET与PMOSFET。

N沟道增强型MOSFET的剖面图

（图a）它用一块P型硅半