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一、引言
1.1研究背景与意义
在现代工业生产和科学研究中,高精度的位置测量技术是实现精密控制、质量检测以及性能优化的关键基础。相位光栅位置测量技术凭借其高精度、高分辨率、抗干扰能力强以及可实现非接触测量等显著优势,在众多领域得到了极为广泛的应用。在集成电路制造领域,随着芯片制程工艺不断向更小尺寸迈进,对光刻设备中工件台的定位精度提出了近乎苛刻的要求,相位光栅位置测量系统作为关键的位置反馈装置,其测量精度直接关乎芯片制造的良品率和性能。在精密机床加工领域,相位光栅用于精确测量工作台的位移,确保加工零件的尺寸精度和表面质量达到设计要求,满足航空航天、汽车制造等高端制造业对精密零部件的加工需求
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