1Y小尺寸DRAM清洗与检测技术：挑战、创新与展望.docx

一、引言

1.1研究背景与意义

在半导体产业持续创新与发展的进程中，动态随机存取存储器（DRAM）始终占据着举足轻重的地位。作为易失性存储的核心代表，DRAM广泛应用于各类电子设备，从日常使用的智能手机、个人电脑，到数据中心的服务器，乃至人工智能、物联网等新兴领域的关键设备，它都发挥着不可或缺的作用，是支持现代信息技术高效运行的关键基础。

1Y小尺寸DRAM作为DRAM技术演进的重要成果，以其卓越的性能优势在市场中崭露头角。随着制程工艺的不断精进，1Y小尺寸DRAM实现了单位面积存储容量的大幅提升，能够在有限的物理空间内存储更多的数据，满足了电子设备日益增长的大容量存储需