真空泵与阀门.pdf

真空泵：

一、概要：

真空泵是获得真空的设备，根据自身极限真空的能力将真空泵分为低

真空泵和高真空泵。表1.对常用真空泵进行了分类归纳。

表1.常用真空泵的分类：

分类极限真空应用

卷泵（Scrollpump）7.5×10-3TorrCD-SEM

油回转泵（Oilsealedrotarypump）7.5×10-5TorrII/SP

位

罗茨泵（rootsblower,rootspump）5×10-5TorrII/SP/Dry/CVD

移

气水环泵(waterringpump)5×10-3Torr－

式

体

活塞泵(pistonpump)5×10-3Torr－

移

真动隔膜泵(diaphragnpump)5×10-3TorrII/Anneal

式扩散泵(diffusionpump)1×10-8TorrII

动

喷射泵(ejectionpump)－－

空力

分子泵(turbomolecularpump)5×10-9TorrII/SP/Dry/

式

分子拖曳泵(moleculardragpump)－－

泵吸气泵(sorptionpump)－－

气冷冻陷阱(coldtrap)－－

体

冷凝泵(cryopump)5×10-9TorrII/SP/Dry/

凝

溅射离子泵(spuutterionpump,SIP)5×10-10TorrCD－SEM

聚

式钛升华泵(titaniumsublimationpump)－－

非蒸发吸气泵(nonevaporablegetter)－－

二、各类真空泵的特性

表2.各类真空泵的特性：

真空泵类型是否需要是否有油形成问题的气体或备注

支援泵入口出口蒸气

干式转动泵否否是可压缩的粗抽泵

油密封转动泵否是是需要气