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超高纯氨精馏工艺生产技术的探索.pdf

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超高纯氨精馏工艺生产技术的探索

王雪梅,彭飞

(湖北兴力电子材料有限公司,湖北宜昌443007)

摘要:中国太阳能光伏产品及半导体产品的应用范围越来越广,超高纯氨的需求量日益增加。由于中国超高纯氨的生产

技术工艺与国际先进技术相比仍有差距,为此,相关技术人员针对超高纯氨的性能特点及技术难点,经过大量模拟计算

和研究后,开发出一套由精馏塔和水洗塔双塔生产超高纯氨的工艺技术,可以得到氨中各类金属杂质含量在10×10-12

以下的超高纯氨产品。

关键词:超高纯氨;精馏;水洗;工艺技术;化工生产

中图分类号:TQ113.26 文献标志码:A文章编号:1008-4800(2024)14-0147-03

DOI:10.19900/ki.ISSN1008-4800.2024.14.038

ExplorationofProductionTechnologyofUltra-highPurityAmmoniaDistillation

WANGXuemei,PENGFei

(HubeiSUNLITElectronicMaterialsCo.,Ltd.,Yichang443007,China)

Abstract:TheapplicationrangeofsolarphotovoltaicproductsandsemiconductorproductsinChinaisbecomingwiderandwider,

andthedemandforultra-highpurityammoniaisincreasing.DuetothegapbetweenChina’sultra-highpurityammoniaproduction

technologyandtheinternationaladvancedtechnology,relevanttechnicianshavedevelopedasetofultra-highpurityammonia

productiontechnologybydistillationtowerandwashingtowerafteralotofsimulationcalculationandresearch,aimingatthe

performancecharacteristicsandtechnicaldiff icultiesofultra-highpurityammonia.Theultra-highpurityammoniaproductswith

thecontentofvariousmetalimpuritiesinammoniabelow10×10-12canbeobtained.

Keywords:ultra-highpurityammonia;rectif ication;waterwashing;processtechnology;chemicalproduction

0引言1设计原理

超高纯氨是无色气体,有刺激性恶臭、具有强腐超高纯氨的纯度指标是需要达到99.99999%,

蚀性、有毒且非常容易溶解在水中的物质,对皮肤和-9

CO、CH、N、H、Ar等杂质总和含量小于100×10;

2422

眼睛有强烈腐蚀作用,极易产生严重疼痛性灼伤。H2O的含量小于50×10-

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