白光扫描粗糙度轮廓仪.ppt

ZYGOCONFIDENTIAL*ZYGOCONFIDENTIAL7/15/2011?2011ZygoCorporation.?Allrightsreserved.*V20110221****ZYGO白光扫描粗糙度轮廓仪应用Zygo是怎样的一个公司?Zygo具有完全自主设计，研发，制造的能力…专业的测试方案：Zygo公司对于光学干涉测量具有独一无二专业经验。能提供关于表面面形，粗糙度，材料特性，薄膜厚度，平台精确定位等应用专业的工艺控制解决方案。Zygo提供超高精度，具有高技术价值的光学系统和光学部件。这些部件包括尺寸达到米级别的平面镜，以及在医学和空间科学应用中，所需要的光学部件。纳斯达克上市公司，名称：ZIGO作为业界的佼佼者，Zygo公司拥有广泛和多样化的客户基础。历来在技术创新领域积极进取，成为新技术的领导者。500项已经发布的专利技术，200项正在申请的专利技术。在世界范围内售出大约10,000套系统.Zygo公司是世界级最专业的，扫描白光干涉仪制造商。SWLI在光学计量设备领域有41年专业经验1983成为上市公司在世界范围内13个地区有大约625个雇员.成立于1970年.Zygo公司分支机构生产部门上海，中国Tucson,亚利桑那Richmond,加州Middlefield,康涅狄格新加坡Darmstadt,德国中国上海中华台湾Tokyo,日本Fremont,美国加州销售及支持Darmstadt,德国上海，中国新加坡Fremont,美国加州中华台湾东京，日本研发部门CostaMesa,加州Watsonville,加州Montreal,加拿大总部(销售，市场，制造，研发)Middlefield,美国康涅狄格州Middlefield,美国康涅狄格州Montreal,加拿大CostaMesa,美国加州Tucson,美国Richmond,美国加州Zygo扫描白光干涉仪SWLI高速，非接触测量，各种尺寸的样品都能提供高分辨率三维数据结果：优势在0.1nm到150微米的范围上使用一种测量方式，一种算法。对于样品不同的表面结构，只用一种算法分析测量。可以测试0.1nm的超光滑表面粗糙度提供最长可达70mm工作距离，数值孔径最大0.85的镜头。（数值孔径决定了最大可以测量的坡度）分析软件提供可视化2维或者3维结果。结果符合ISO4287和25178标准可以通过自动平台实现拼接功能，测试更大的范围。提供开放的脚本编程语言工具，使用者可自行设置让设备全自动运行的程序，可以组合自己特殊的测量结果。可选自动的4位塔台白光干涉扫描轮廓仪的工作原理

白光扫描干涉测量法是一种非接触的测量方式，通过干涉条纹，来比较样品测试表面跟理想参考面的偏差。通过显微镜物镜的垂直扫描测试样品表面，得到整个视场区域的测试结果-----整幅的三维数据地图，而不是只有一条剖面线的结果。SWLI垂直方向的分辨率与放大倍率无关，无论使用1倍镜头，或者50倍镜头时，其视场范围每个像素点的纵向分辨率都是0.1nm，而基于共聚焦方式光学检测设备的纵向分辨率是基于NA的。SWLI是一种被公认的非接触表面轮廓测试计算方法，收录在基于3D数据地图的全新国际粗糙度计量标准，ISO/DIS25178-604PartD里面白光干涉扫描轮廓仪的工作原理白光干涉扫描对于测量粗糙，不连续表面很有帮助。因为白光扫描的测试结果是基于每个像素点上的光强信号单独分析，其结果是基于绝对物理高度的结果。单波长激光干涉系统在测量粗糙样品时，就没有这样的优点，移相法在处理每个像素的数据时候会结合邻近像素相位结果，并且得到的原始结果是基于相位的而不是物理距离。这使在测量处理粗糙样品表面的数据时候，白光干涉扫描具有很大优势，能测量粗糙或者有台阶跳跃结构的表面；而在测量光滑样品表面时，单色光移相法则相对具有速度快的优势。信号包络条纹信号-505光强扫描距离(microns)Nexview典型的干涉条纹信号Nexview白光干涉扫描轮廓仪的工作原理正如上图所示，每条信号线代表了每个像素在扫描过程中光强信号的变化。每条信号线包络的峰值即为这个像素的完美等光程点。每个像素点的物理绝对高度都是以这个等光程点为参考的。如图把等光程点连接起来就形成了样品表面的面形。超光滑样品粗糙度测量可以测试0.1nm粗糙度的超光滑样品。同时以3D和2D的方式评价粗糙度。符合ISO4287和25178标准。可以通过自动平台，实现多