（浦卓测控）-PZ10-HS-DS 热式气体质量流量控制器产品说明书(1).pdf

PZ10-HS/DS热式气体质量流量控制器

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PZ10-HS/DS热式气体质量流量控制器

目录

1.产品介绍1

1.1用途与特点1

1.2主要技术指标1

1.3工作原理2

2.快速安装指导3

2.1外形及安装尺寸3

2.2气路接头形式3

2.3电缆连接插头4

3.功能操作详解4

3.1综述4

3.2常用操作5

3.3功能操作详解8

4.注意事项16

4.1加装过滤器16

4.2使用腐蚀性气体16

4.3安装位置问题16

4.4阀口密封问题16

4.5标定与不同气体的换算16

5.一般异常情况判断和处理17

6.保证、保修与服务18

6.1产品保证和保修18

6.2保修对使用的要求18

6.3服务18

附录一：气体流量转换系数表19

附录二：通讯协议21

附录三：气体质量流量转换系数使用说明23

附录四：故障判断和处理一览表24

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PZ10-HS/DS热式气体质量流量控制器

1.产品介绍

1.1用途与特点

质量流量控制器(MassFlowController缩写为MFC)用于对气体的质量流量进行精密测量和控

制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领

域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧

化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测

量、气相色谱仪及其他分析仪器。

图一、PZ10-HS/DS质量流量控制器

1.2主要技术指标

1量程范围（0～500,1000,1500,2000,2500,3000...）SLM

2准确度±0.5%F.S/±1.0%F.S

3线性±0.5%F.S

4重复精度±0.2%F.S

5响应时间电特性：1sec气特性：（1～4）sec

6工作压差0.02～1.0Mpa

7耐压3Mpa,10Mpa

8工作环境温度0～50℃

9数字量RS485/232MODBUS协议

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