梳齿式电容加速度传感器等效并联电阻对器件输出产生的影响.docx

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2025-02-26 发布于山东
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第29卷第10期传感技术学报Vol.29No.10

2016年10月CHINESEJOURNALOFSENSORSANDACTUATORSOct.2016

AnalysisoftheEffectoftheEquivalentParallelResistoroftheCombCapacitiveAccelerometer*

QUHao，PENGBei*，ZENGJian，ZHOUWu，YUHuijun

（DepartmentofMechatronicsEngineering，UniversityofElectronicScienceandTechnologyofChina，Chengdu611731，China）

Abstract：Measurementofthesensingcapacitanceamongthestructureofthecombaccelerometercouldbeaffectedbytheequivalentelectricalparametersbesidesthesensingcapacitance.EquivalentelectricalparametersofMulti?layerCeramicCapacitance（MLCC）havebeenstudied，sincethestructureofthecombaccelerometerissimilartoMultilayerCeramicCapacitance（MLCC），theequivalentelectricalparametersofthecombaccelerometercouldbeanalyzedinthesameway.Thispaperwillintroducethemodelofthesensingcapacitancewithequivalentelectricalparametersandanalyzestheeffectoftheseparametersonthemeasurementresult.

Keywords：MEMS；combcapacitiveaccelerometer；pspicecircuitsimulation；chargeamplifycircuit；equivalentparallelresistor

EEACC：7320E；7230doi：10.3969/j.issn.1004-1699.2016.10.003

梳齿式电容加速度传感器等效并联电阻对器件输出产生的影响*

曲昊，彭倍*，曾建，周吴，于慧君

（电子科技大学机械电子工程学院，成都611731）

摘要：梳齿式电容加速度传感器检测电容的测量结果会受到除感应电容之外的其他等效电路参数的影响。梳齿式电容加速度传感器的结构与多层瓷片电容（MLCC）的结构类似，因此可以借鉴多层瓷片电容中等效电路参数的研究方法对电容加速度传感器中的等效电路参数进行研究。本文将对梳齿式电容加速度传感器检测结构中的等效电路参数进行建模，并分析这些等效电路参数对测试结果产生的影响。

关键词：MEMS；梳齿式电容加速度传感器；Pspice电路仿真；电荷放大电路；等效并联电阻

中图分类号：TH824.4文献标识码：A文章编号：1004-1699（2016）10-1483-03

MEMScapacitivesensoriswidelyusedinnaviga?tion，measurementandotherfields.Combcapacitiveac?celerometerisonetypicalMEMScapacitivesensorthattransformsaccelerationintocapacitanceandgeneratesvoltag