TCASME-半导体设备用全氟醚橡胶密封制品.pdf

ICS83.140.50

CCSG43

T/CASME

团体标准

T/CASMEXXX—2025

半导体设备用全氟醚橡胶密封制品

Perfluoroetherrubbersealingproductsforsemiconductorequipment

（征求意见）

在提交反馈意见时，请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上。

2025-XX-XX发布2025-XX-XX实施

中国中小商业企业协会发布

T/CASMEXXX—2025

目次

前言II

1范围1

2规范性引用文件1

3术语和定义1

4工作温度1

5技术要求1

6试验方法2

7检验规则3

8标志、标签和随行文件4

9包装、运输和贮存4

I

T/CASMEXXX—2025

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由XXX提出。

本文件由中国中小商业企业协会归口。

本文件起草单位：……。

本文件主要起草人：……。

II

T/CASMEXXX—2025

半导体设备用全氟醚橡胶密封制品

1范围

本文件规定了半导体设备用全氟醚橡胶密封制品的工作温度、技术要求、试验方法、检验规则、标

志、标签和随行文件、包装、运输和贮存。

本文件适用于半导体设备用全氟醚橡胶密封制品的制造、检验。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T528硫化橡胶或热塑性橡胶拉伸应力应变性能的测定

GB/T531.1硫化橡胶或热塑性橡胶压入硬度试验方法第1部分：邵氏硬度计法（邵尔硬度）

GB/T1690硫化橡胶或热塑性橡胶耐液体试验方法

GB/T2828.1计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限（AQL）检索的逐批检验抽样计划

GB/T2941橡胶物理试验方法试样制备和调节通用程序

GB/T3452.1—2005液压气动用Ο形橡胶密封圈第1部分：尺寸系列及公差

GB/T3452.2—2007液压气动用Ο形橡胶密封圈第2部分：外观质量检验规范

GB/T3512硫化橡胶或热塑性橡胶热空气加速老化和耐热试验

GB/T3672.1橡胶制品的公差第1部分：尺寸公差

GB/T5721橡胶密封制品标志、包装、运输、贮存的一般规定

GB/T7759.1硫化橡胶或热塑性橡胶压缩永久变形的测定第1部分：在常温及高温条件下

GB/T7762硫化橡胶或热塑性橡胶耐臭氧龟裂静态拉伸试验

GB/T15256