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研究报告

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2024年全球及中国半导体专用废气洗涤器行业头部企业市场占有率及排名调研报告

一、行业概述

1.1行业背景及发展历程

(1)半导体专用废气洗涤器行业作为半导体制造过程中的重要设备之一，其发展历程与半导体产业的发展密切相关。自20世纪中叶以来，随着半导体技术的不断进步，半导体专用废气洗涤器行业也逐渐兴起。在早期的半导体制造过程中，由于设备和技术限制，废气处理主要依赖于自然通风和简单的过滤设备。然而，随着半导体工艺的日益精密，对废气处理的要求也越来越高，促使了专用废气洗涤器技术的诞生和发展。

(2)半导体专用废气洗涤器行业的发展历程可以大致分为三个阶段。第一阶段是20世纪70年代至80年代，这一阶段主要关注废气洗涤器的基本功能，如去除有害气体和颗粒物。随着半导体工艺的进步，对废气处理效率的要求不断提高，推动了洗涤器技术的创新和升级。第二阶段是20世纪90年代至21世纪初，这一阶段以高效、低能耗和环保为特点，洗涤器技术得到了显著的提升，同时市场需求也呈现出快速增长的趋势。第三阶段是21世纪至今，随着全球半导体产业的快速发展，专用废气洗涤器行业进入了高度竞争和快速创新的阶段，产品种类和性能不断提升，市场应用领域不断拓展。

(3)近年来，随着环保法规的日益严格和半导体产业的持续升级，半导体专用废气洗涤器行业面临着新的挑战和机遇。一方面，环保要求不断提高，促使企业加大研发投入，提升产品性能；另一方面，半导体产业的快速发展为专用废气洗涤器行业带来了广阔的市场空间。在这一背景下，行业竞争愈发激烈，企业需要不断创新，以满足市场需求，同时实现可持续发展。

1.2行业定义及分类

(1)半导体专用废气洗涤器行业是半导体制造业中不可或缺的一环，其主要功能是处理半导体生产过程中产生的有害气体和颗粒物，以确保生产环境的清洁和员工的健康。根据国际半导体设备与材料协会（SEMI）的定义，半导体专用废气洗涤器是指用于半导体制造过程中，对废气进行净化处理的设备。这些设备通常包括吸收塔、过滤器、风机等部件，能够有效去除挥发性有机化合物（VOCs）、酸性气体、氮氧化物等有害物质。

以我国为例，根据《中国半导体专用设备行业报告》的数据显示，2019年我国半导体专用废气洗涤器市场规模达到50亿元，预计到2025年将增长至100亿元。其中，吸收式洗涤器占据了市场的主导地位，市场份额超过60%。例如，某知名半导体制造企业在其晶圆制造车间中，采用了先进的RTO（催化氧化）废气洗涤器，该设备能够将废气中的VOCs转化为无害的水和二氧化碳，有效降低了废气排放对环境的影响。

(2)半导体专用废气洗涤器行业按照工作原理可以分为多种类型，包括吸收式、吸附式、催化氧化（RTO）、热力氧化（TO）等。吸收式洗涤器通过液体吸收剂与废气中的有害物质发生化学反应，实现净化处理。例如，某公司生产的喷淋式洗涤器，其工作原理是利用水作为吸收剂，通过喷淋方式将废气中的有害物质溶解并去除。据统计，吸收式洗涤器在全球市场中的份额约为35%。

吸附式洗涤器则是利用固体吸附剂吸附废气中的有害物质，如活性炭、分子筛等。以某半导体制造企业为例，其使用的活性炭吸附式洗涤器能够有效去除废气中的苯、甲苯等有机物，净化效率高达99%。此外，RTO和TO洗涤器通过高温氧化将废气中的有害物质转化为无害物质，广泛应用于高浓度VOCs废气的处理。据统计，RTO和TO洗涤器在全球市场中的份额约为15%。

(3)半导体专用废气洗涤器行业按照应用领域可以分为前工序、中工序和后工序三个阶段。前工序主要针对光刻、蚀刻等工序产生的废气进行处理；中工序主要针对清洗、刻蚀等工序产生的废气进行处理；后工序主要针对封装、测试等工序产生的废气进行处理。以某半导体制造企业为例，其前工序采用了RTO废气洗涤器，中工序采用了吸附式洗涤器，后工序则采用了热力氧化洗涤器。根据《中国半导体专用设备行业报告》的数据，前工序、中工序和后工序的市场份额分别为40%、30%和30%。随着半导体工艺的不断进步，各工序对废气处理的要求也在不断提高，促使专用废气洗涤器行业不断创新，以满足市场需求。

1.3行业政策及法规

(1)在全球范围内，半导体专用废气洗涤器行业受到严格的行业政策及法规的约束，这些政策法规旨在保护环境、保障员工健康，并促进半导体产业的可持续发展。例如，欧盟实施了严格的《关于限制在电子设备中使用某些有害物质的指令》（RoHS），要求电子设备中不得含有铅、汞、镉、六价铬、多溴联苯和多溴联苯醚等有害物质。这一法规对半导体专用废气洗涤器行业提出了更高的要求，促使企业研发更环保、更高效的废气处理技术。

根据《中国环境保护年鉴》的数据，2019年中国半导体专用废气洗涤器行业相关政策法规数量达到50余项，其中涉及废气排放标准的法