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《PDMS芯片的制作工艺研究》5100字.docx

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    PDMS芯片的制作工艺研究

    目录

    TOC\o1-2\h\u17527PDMS制作工艺研究 1

    4456第一章绪论 1

    20221第二章微流控PDMS介绍 1

    207212.1PDMS简介 1

    25386第三章PDMS芯片的作用和制作 4

    193813.1基因测序芯片 4

    159033.2微流控纳米芯片 8

    绪论

    为了把微流控芯片制作的性能进行优化，本文研究了PDMS基板的成型工艺，表面改性工艺和芯片粘接工艺。主要的研究成果如下：PDMS基板是通过二次成型工艺制成的，囊括了玻璃微通道模板生产。使用光刻和湿法蚀刻两者相结合的方法，将凹形

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