T_CPIA-《光伏电池用扩散层薄层方块电阻的指南编制说明》.doc

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光伏行业协会标准《光伏电池用扩散层薄层方块电阻的测量方法》（征求意见稿）编制说明

一、工作简况

1、任务来源

根据中国光伏行业协会2022年1月17日下发的中光伏协[2022]4号文件《关于印发2022年第1批光伏协会标准制修订计划的通知》的相关要求，《光伏电池用扩散层薄层方块电阻的测量方法》（计划号2022002-CPIA）由石家庄晶澳太阳能科技股份有限公司牵头编写，由中国光伏行业协会标准化技术委员会负责技术归口和管理。

2、协作单位及任务分工

序号

单位名称

主要贡献

1

石家庄晶澳太阳能科技股份有限公司

标准整体策划，会议组织，标准的申报、编写、答辩、修改、审核等。

2

晶澳太阳能科技股份有限公司

标准统筹规划、会议组织、各阶段过程审核、出版前编辑性修改等。

3

浙江晶科能源有限公司

参与编制，提出较多的专业建议项。

4

天合光能股份有限公司

参与编制，提出较多的专业建议项。

5

嘉兴阿特斯技术研究院有限公司

参与编制，提出较多的专业建议项。

6

英利能源发展有限公司

参与编制，提出较多的专业建议项。

8

……

……

3、编制过程

2022年1月17日，《光伏电池用扩散层薄层方块电阻的测量方法》协会标准制定计划正式下达。

2022年4月8日，组成标准编制组，形成草案与编制说明。

2022年4月21日，召开标准启动会。

2023年12月25日，召开编制组讨论会。

2024年1月25日，形成标准征求意见稿（讨论稿），于工作组会上讨论，形成征求意见稿。

二、标准编制原则和主要内容的论据

1、编制原则

本标准的制定工作遵循“适用性、一致性、规范性”的原则，本着先进性、必要性、可操作性的原则，按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定进行编写。

本标准规定的技术内容及要求应科学、合理，具有适用性和可操作性。

2、确定主要内容的论据及解决的主要问题

扩散制作的PN结是太阳电池的心脏,它决定了太阳电池PN结的结深、表面杂质浓度等参数。扩散的不均匀会直接影响电池电性能参数的正态分布,导致电池低效率比例的增加。对于做发射极高方阻扩散工艺的电池而言,其对电池性能的影响将会更严重。扩散后方阻均匀性好则有利于后续工艺的匹配，整体电性能也更稳定。方块电阻是衡量扩散质量是否符合工艺要求的重要指标之一。在工业化生产中,扩散后的硅片需要至少测试5个方块电阻值(即硅片中间和4个角共5个点)来检验扩散质量。测试扩散方阻的方法有红外线反射法、在线四探针测试法和离线四探针测试法三种方法，可能同一片硅片使用不同的测试扩散方法会有不同的测试值和偏差，需要对测试扩散方阻的机台有定期的校准确认和标准，确保电池片的品质正常，避免测试机台异常导致出现品质异常。校准不准确会导致测量结果的误差，因此，需要定期进行校准，并使用标准电阻样品进行校准，以确保测量结果的准确性。

三、主要试验（或验证）情况分析；

本项目启动后，按照标准机台标定方阻，每日离线/在线校准测试，定期的横向校准，通过大量的数据验证，总结出光伏电池用扩散层薄层方块电阻的测量方法。即在线校准：用50片现场扩散后电池片分别用在线、离线测试数值，在线与离线按照平均偏差2.5%进行管控；离线日常校准：每班用现场留存监控片测试所有离线四探针机台，测试值在要求范围±2Ω内则正常使用；周期性校准：使用标准机台标定方阻标片用做周期性监控片，每两周用留存周期性监控片测试所有车间离线四探针机台，测试值在要求范围±2Ω内则正常使用。按照在线校准、日常校准、周期性校准的频次测试机台，在要求范围内则正常使用，超出范围的进行机台调试，保证测试机台的稳定性进而确保电池片品质的正常。

四、知识产权情况说明

本文件不涉及专利。

五、产业化情况、推广应用论证和预期达到的经济效果等情况

虽然四探针测量技术已经存在了100多年，由于其操作简单以及固有的准确性，一直备受青睐，但是对于光伏电池磷扩、硼扩、退火等工序的方阻测试、在线校准、日常校准及横向校准没有统一的行业标准。建立本标准有利于规范行业内扩散层薄层方块电阻的测试及校准要求、提高电池片品质等，对光伏电池的产业发展具有深远的指导意义。

六、与国际、国外有关法律法规和标准水平的对比分析

国内与行业内缺少专门针对扩散层薄层方块电阻测试的相关技术标准。本次，参考GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定对扩散层薄层方块电阻测试的标准制定。制定适用于光伏电池用扩散层薄层方块电阻的测量方法，可弥补国内、行业内标准方面的空白，同时为光伏电池方块电阻测试标准及校准标准化的推广奠定了基础。

七、与现行有关法律、法规和标准的关系

标准符合国家有关法律、法规的要求，与现行