azbil阿自倍尔操作手册用户使用说明书热式微流量液体流量计 F7M9010，9030，9050.pdf

CP-UM-5922JEC注意形番構成

熱式微小液体流量計本器に異常が生じたときに損害が想定される場合は、表示流路配管接続流体信号コネクタ付加機能

形F7M9010/9030/9050適切な冗長設計を行ってください。基本形番流量レンジ機能材質方式種類種類種類１２３付番備考

取扱説明書異物などを流体に混入させないでください。配管内のF7M

さび、油分、ゴミなどが本器に流入し付着すると、計測9010計測流量レンジ0.1～10mL/min

や制御の誤差が発生し、本器の破損につながるおそれが9030計測流量レンジ0.3～30mL/min

このたびは当社製品をご購入いただき、まことにありがとうござあります。異物が混入するおそれがある場合には、本器

9050計測流量レンジ0.5～50mL/min

います。この取扱説明書には、製品を安全に正しくご使用いただの上流側にフィルタなどを設けてください。フィルタの

A表示機能なし（状態表示LEDランプ付）

くための必要事項が記載されております。当社製品を使用した操点検、交換などは定期的に行ってください。

Q石英ガラス、PFA、PTFE

作盤、装置の設計、保守を担当される方は、必ずお読みになり、振動のない場所に設置してください。本器を振動のある1フッ素樹脂チューブ用継手

理解したうえでご使用ください。いつもお手元においてご活用く場所に設置した場合、正しく計測できず、誤動作および日本ピラー工業（株）スーパー300タイプPシリーズ

ださい。故障の原因となります。