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半导体单晶炉材料.pdf

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第2章材料

一、晶体结构二

、晶面与晶向

三、晶体中的和杂质

四、单晶硅的

五、晶圆加工

1

晶体结构

晶体可分为单晶和多晶,若在整块材料中,原子都是规

则的、周期性的重复排列的,一种结构贯穿整体,这样的晶

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