T_CPIA-《晶体硅光伏电池用卧式炉管安全设计规范-编制说明》.docx

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光伏行业协会标准《晶体硅光伏电池用卧式炉管安全设计规范》编制说明

一、工作简况

1、任务来源

近年来，我国光伏产业发展迅速，成为能够同步参与国际竞争并取得优势的产业之一。目前我国主要光伏企业已掌握晶硅电池全套生产工艺及万吨级多晶硅生产技术，部分指标处于全球领先水平，产业规模位居全球首位。

太阳能光伏产业综合标准化技术体系（2021年版）草案中，截止到2025年，形成科学合理、技术先进、协调配套的光伏产业标准体系，基本实现光伏产业基础通用标准和重点标准的全覆盖，光伏产业综合标准化技术体系框架主要包括基础通用、光伏制造设备、光伏材料、光伏电池和组件、光伏部件、光伏发电系统及光伏应用等7大方向。光伏设备作为光伏产业链的上游，对于光伏产业的发展至关重要。卧式炉管包含扩散炉、氧化炉、退火炉、PECVD和LPCVD等卧式水平炉管，它们都是晶体硅太阳能电池生产工艺中关键的生产设备，设备的安全性直接影响到太阳能电池片的质量、生产成本及光电转换效率。目前光伏设备向着更加智能化、自动化、高效化的方向稳步发展。新发展阶段、新发展理念、新发展格局又对设备安全生产工作提出了更高的要求。

根据中国光伏行业协会2022年1月17日下发的中光伏协【2022】4号文件《关于印发2022年第一批光伏协会标准制修订计划的通知》的相关要求，《晶体硅光伏电池用卧式炉管安全设计规范》（计划号2022021-CPIA）由北京北方华创微电子装备有限公司作为牵头编写，由中国光伏行业协会标准化技术委员会负责技术归口和管理。

2、协作单位及任务分工

本标准主要由北京北方华创微电子装备有限公司负责起草。其他编制组成员包括湖南红太阳光电科技有限公司、英利能源发展有限公司和江苏爱康能源研究院有限公司。

所做的工作：北京北方华创微电子装备有限公司全面协调标准起草工作，标准编制组各成员互相协作，予以支持，共同完成标准的发布工作。

3、编制过程

起草阶段：2022年1月17日中国光伏行业协会发布中光伏协【2022】4号文件《关于印发2022年第一批光伏协会标准制修订计划的通知》中《晶体硅光伏电池用卧式炉管安全设计规范》标准获批立项。

标准制定计划任务正式下达后，我司作为起草单位成立标准的专门工作组，落实起草任务，组织进行起草准备工作，拟定该标准的工作计划，对国内的晶体硅光伏电池用卧式炉管设备进行了充分的调研分析，收集相关资料，查阅相关国内外标准，结合了下游设备厂商客户的实际应用经验，编制了《晶体硅光伏电池用卧式炉管安全设计规范》草案稿初稿，同时填写编制说明。

初稿讨论阶段，参编单位相关专家提出的意见和修改如下：

（1）7.1.2由尖锐边角引起的划伤危险，对于倒角进行分类。

针对该条意见，由于存在倒角R3对于尺寸较小的物料比较大的情况，查询SEMI标准也未提及相应的数值要求。所以不在本标准中对倒角进行规定，修改为“折边、切口、凸起等处的尖锐边角应进行倒圆角”

（2）7.1.2.1对于最小倾覆角的要求，我司与各参编单位重新计算并验证后根据验证结论得出最终结论。

捷佳和红太阳反馈的最小倾覆角的角度，捷佳建议按照SEMIS218.3的要求“未打固定地脚设备，在任意方向倾斜10°，不能发生倾翻。”红太阳根据设备的重量计算重心从而得到空间倾覆角。得出α角度为24.2°。

查询SEMI标准，其SEMI标准的要求是设备静止防止时的推荐值，考虑设备叉车运输等转运过程，也应有最小倾覆角，我司是根据历史机台的数据整理，得出最小倾覆角经验值:α≥22°。

结合以上意见，在本标准中将最小倾覆角分为静止和移动过程。标准内容修改如下“在静止状态时，最小倾覆角应符合：α≥10°。考虑叉车运输等移动会有倾覆的危险，建议净化台机箱、炉体机箱和气源柜机箱的最小倾覆角:α≥22°。”

（3）对于第7章安全要求和措施、第8章安全标识中涉及到的要求进行重新分析、修改，哪些作为必须达到的要求(即应符合…..),哪些作为参考项、建议项（宜使用……宜满足…….）

针对该条意见已在标准中修改。

征求意见阶段：暂空。

技术预审阶段：暂空。

审查阶段：暂空。

报批阶段：暂空。

二、标准编制原则和主要内容的论据

内容包括：标准编制原则和确定标准主要技术内容的论据（包括技术质保、参数、公式、性能要求、试验方法、检验规则等），解决的主要问题。修订标准的应当提出标准技术内容的主要差异、水平对比，变化依据和理由。

1、编制原则

本标准完全依据GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准的结构和编写》编制，标准的结构、各章节结构及其叙述完全符合该规范要求。在确定本标准主要技术性能指标时，综合考虑生产企业的能力和用户的利益，寻求最大的经济、社会效益，充分体现了标准在技术上的先进性和技术上的合理