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第六节
空气洁净技术;关于空气洁净技术的基本概念;洁净区cleanzone
空气悬浮粒子浓度受控的限定空间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留粒子。室内的其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。洁净区可以是开放式或封闭式
定义的要点
1)洁净室以空气中悬浮粒子浓度为主要控制对象,明确了空气洁净技术的基本特征,也是洁净室级别划分的主要依据;2)指明了空气洁净技术所依据的基本原理,即:防止粒子从外部进入室内;防止室内产生粒子;及时排除已进入室内的或从室内产生的粒子
3)明确了根据不同的应用要求及控制级别对其它有关参数的控制要求
上述定义与ISO14644国际标准的定义是一致的;洁净室的分类
1)按服务对象分
工业洁净室ICR——微电子、平板显示器、精密加工制造等
生物洁净室BCR——医疗、制药、生物、食品、日用化工等
2)按室内气流形式分
3)按洁净室建造方式分
4)按净化空调系统形式分;主要控制对象
ICR——悬浮粒子(少数要求AMC)
BCR——微生物
微生物依附于悬浮粒子之上,故基本控制原理与ICR一致
GMP(1998)洁净室(区)空气洁净度级别;洁净度cleanliness
以单位体积空气中悬浮粒子的数量(允许颗粒数)来区分的洁净程度。
以前习惯采用英制单位——颗/立方英尺(pc/ft3),自国际标准颁布后,应采用国际单位制——颗/立方米(pc/m3)
单向流unidirectionalairflow
沿单一方向呈平行流线并且横断面上空气流速一致的气流
以前曾习惯地称为“层流”,但由于它实际上并不是流体力学中所规定的“层流”,所以现在定义为“单向流”。根据工程中的应用方式可以包括“垂直单向流”和“水平单向流”;垂直单向流;非单向流non-unidirectionalairflow
凡不符合单向流定义的其他气流流型
在实际工程中还可以将单向流和非单向流气流流型组合应用,称为“混合流”
粒径particlesize
由给定的粒子尺寸测定仪响应当量于被测粒子等效的球体直径
实际粒子大多不是标准的球形,同一种粒子用不同的测定仪器和测定方法测得的粒径是不一样的
;各种非单向流形式;洁净工作区cleanworkingarea
指洁净室内离地面高度0.8~1.5m(除工艺特殊要求外)的区域
高效过滤器HEPA(highefficiencyparticulateairfilter)
超高效过滤器ULPA(ultralowpenetrationairfilter)
注意国标GB50072-2001《洁净厂房设计规范》与GB/T13554-2008的定义不同
;GB50072-2001《洁净厂房设计规范》
HEPA——在额定风量下,对于粒径大于等于0.3μm粒子的捕集效率在99.9%以上及气流阻力在250Pa以下的空气过滤器
ULPA——在额定风量下,对于粒径0.1~0.2μm粒子的捕集效率在99.999%以上及气流阻力在280Pa以下的空气过滤器(目前已经有阻力小于100Pa的HEPA和ULPA)
GB/T13554-2008《高效空气过滤器》
HEPA——用于进行空气过滤且使用GB/T6165规定的钠焰法检测,过滤效率不低于99.9%的空气过滤器
ULPA——用于进行空气过滤且使用GB/T6165规定的钠焰法检测,过滤效率不低于99.999%的空气过滤器;GB/T14295-2008《空气过滤器》
按标准规定的方法,用对于大于等于0.5μm微米粒子的记数效率数值来划分(见后表)
亚高效过滤器sub-HEPA
高中效过滤器highefficiencyfilter
中效过滤器mediumefficiencyfilter
粗效过滤器roughingfilter(不能称初效)
静电过滤器electricairfilter
静电过滤器一般不能作为净化空调系统的末端过滤器;净化空调与普通空调的主要区别
1)压力控制
2)多级过滤
3)气流组织
4)换气次数(送风量)
5)负荷特性;一、空气洁净度等级;FS—209E浮游粒子洁净等级表3.6-1;以空气中粒径≥0.5μm的粒子允许数量为分级标准
当采用国际单位时,等级的名称为每m3空气中最大允许粒子数的常用对数值(以10为底)。例如:每m3空气中大于等于0.5μm粒径的最大允许粒子数为3530颗,而3530的常用对数值为3.55,所以命名
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