工艺优化策略-提高芯片制造效率.pptx

工艺优化策略

提高芯片制造效率

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Agenda1.制程优化与控制

2.智能制造与自动化

3.缺陷分析与供应链管理

4.设备维护与产能规划

5.节能环保与标准化

01.制程优化与控制

优化制程，精细控制

制程优化的目的和原则

制程优化的关键措施

制程分析参数调整设备改进

通过分析制程，优化生产过程通过对制程参数的调整，优化对现有设备进行改进或引入新

工艺流程，提高生产效率设备，以提升生产能力和品质

工艺窄边界的应用

窄边界工艺控制

实时监测制程优化过程控制数据分析

实时监测工艺参数优化工艺降成本控制制程环节，确保产品数据分析找瓶颈，优化工

质量艺

制程控制技术的应用

制程控制技术的应用流程

01SPC技术流程02FDC技术流程03APC技术流程

统计分析优化制程监测制程参数智能制程优化，提升效率。

工艺集成与模块化

IC制造工艺集成

模块化设计快速响应市场需求生产线调整

将工艺流程拆分成多个模块，通过模块化设计，可以快速响灵活生产线布局

实现灵活组合和快速调整。应市场需求，提高制造效率。

02.智能制造与自动化

自动化智造的重要性及实现

智能工厂

自动化与人工智能的融合

自动化生产线

自动化集成电路制造