五维干涉仪调整架设计.docxVIP

TOC\o1-3\h\z\u

摘要

精密调整架广泛应用于测量、检验、科研以及医疗等行业，具体优点工作稳定性好，可以大大减少与实际的误差，对精密类型的工作有及其重要的意义。本文通过对现代精密调整架的研究背景分析，结合研究现状，设计了一种五维干涉仪调整架结构，该调整架由人力驱动，通过丝杆或蜗轮蜗杆机构进行传动，可以实现二维平移运动以及三维调整运动。由于实际需要，调整架对施加的力的反馈要及其准确。

本文作者主要完成了以下工作：

1．研究国内外该类型调整架的研究现状，选定课题内容，并提出五维干涉仪调整架总体的设计方案。

2.进行五维干涉仪调整架的子系统设计，包括传动系统以及执行系统，确定需要的类型。

3．基于对子系统的设计工作，对选定的关键部件进行设计计算，包括丝杆、蜗轮蜗杆以及轴承。

4．基于Solidworks软件完成所有的零件建模工作以及总体装配工作，并完成对五维干涉仪调整架的仿真分析。

5．完成五维干涉仪调整架的有限元分析，主要是对丝杆的静力学分析工作，经调试，确保系统可以实现预期功能，稳定工作。

关键词：干涉仪；调整架；Solidworks；有限元分析

Abstract

Precisionadjustmentframeiswidelyusedinmeasurement,inspection,scientificresearchandmedicalindustries,thespecificadvantagesofgoodworkstability,cangreatlyreducetheerrorwiththeactualerror,forprecisiontypeofworkhasgreatsignificance.Throughtheresearchbackgroundanalysisofmodernprecisionadjustmentframe,combinedwiththeresearchstatus,thispaperdesignsafive-dimensionalinterferometeradjustmentframestructure,whichisdrivenbymanpowerandtransmittedbyscreworwormgearmechanism,whichcanrealizetwo-dimensionaltranslationmovementandthree-dimensionaladjustmentmovement.Duetopracticalneeds,thefeedbackoftheadjustmentframetotheappliedforceshouldbeextremelyaccurate.

Theauthorofthisarticlemainlycompletedthefollowingwork:

1.Studytheresearchstatusofthistypeofadjustmentframeathomeandabroad,selectthetopiccontent,andputforwardtheoveralldesignschemeofthefive-dimensionalinterferometeradjustmentframe.

2.Designthesubsystemofthefive-dimensionalinterferometeradjustmentframe,includingthetransmissionsystemandtheexecutionsystem,anddeterminethetypeofneed.

3.Basedonthedesignworkofthesubsystem,thedesigncalculationoftheselectedkeycomponents,includingscrews,wormgearsandbearings.

4.CompleteallpartmodelingworkandoverallassemblyworkbasedonSolidworkssoftware,andcompletethesimulationanalysisofthefive-dimensionalinterf