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面向压电驱动惯性粘滑平台的小型高动态电源研究.pdf

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面向压电驱动惯性粘滑平台的小型高动态电源研究中文摘要

面向压电驱动惯性粘滑平台的小型高动态

电源研究

中文摘要

惯性粘滑平台因其突出的优点,例如具有纳米级的定位精度和分辨率、运

动速度快等,并且由于其本身结构尺寸小,已经广泛的应用于需要快速精密定

位的微操作领域。惯性粘滑平台以压电陶瓷作为核心驱动器,需要压电驱动电

源输出一定功率的电压信

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