机械工程测试技术基础电子课件铁道老师制作三章.pdfVIP

第五节电容式传感器

一．工作原理：

将被测量的变化转换成电容的变化。

A

C0r

平行平板电容器：



−−−−真空介电常数（8.8510F/m)

0−12

−−−−极间介质相对介电常数（空气1）

rr

−−−−极板间距离（m）；

2

A−−−−极板面积（m）。

Cf(,A,)

极距变化型Cf（）；



面积变化型Cf（A）

介质变化型Cf（）。

⒈极距变化

A

①C0r



Δδ

A

两边微分：dC=−0rd

2

dCA

δ灵敏度：S=−0r（变量）

d2

CA

仅当1时，S−0r（常量）

2

0

δ

②差动式

AA

0r0r

CC−C−

ab