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超短脉冲激光：功能性表面微结构加工的技术革新与应用探索

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代制造业不断追求高精度、高性能产品的大趋势下，微纳制造技术已成为推动众多行业发展的关键力量。从电子信息领域的芯片制造，到生物医学领域的医疗器械和生物传感器制备，再到能源领域的太阳能电池和储能材料研发，微纳制造技术的应用无处不在，其对于提升产品性能、实现功能创新以及推动产业升级的重要性不言而喻。在众多微纳制造技术中，超短脉冲激光加工技术凭借其独特的优势，逐渐崭露头角，成为研究和应用的热点。

超短脉冲激光，通常是指脉冲宽度在皮秒（10^{-12}秒）至飞秒（10^{-15}秒）量级的激光。与传统长脉冲激光