DB35T 1873-2019 热喷涂旋转硅靶材通用技术条件.pdfVIP

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H72

DB35

福建省地方标准

DB35/T1873—2019

热喷涂旋转硅靶材通用技术条件

Generaltechnicalspecificationforthermalsprayingrotarysilicontarget

2019-12-19发布2020-03-19实施

福建省市场监督管理局发布

DB35/T1873—2019

目次

前言II

1范围1

2规范性引用文件1

3要求1

4试验方法3

5检验规则3

6标志、包装、运输和贮存4

I

DB35/T1873—2019

前言

本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。

本标准由福建阿石创新材料股份有限公司提出。

本标准由福建省工业和信息化厅归口。

本标准起草单位：福建阿石创新材料股份有限公司、福建省产品质量检验研究院、福建省测试技术

研究所、福州允能光电有限公司、福州荣德光电有限公司。

本标准主要起草人：张科、任小英、陈钦忠、郑建文、林志河、汪家兵、陈丹红。

II

DB35/T1873—2019

热喷涂旋转硅靶材通用技术条件

1范围

本标准规定了热喷涂旋转硅靶材的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。

本标准适用于以高纯硅粉为原料，添加微量物质后，采用等离子喷涂工艺，将硅粉喷涂于不锈钢衬

管上的热喷涂旋转硅靶材。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。

凡是不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T1423贵金属及其合金密度的测试方法

GB/T1551硅单晶电阻率测定方法

GB/T13296锅炉、热交换器用不锈钢无缝钢管

GB/T26125电子电气产品六种限用物质（铅、汞、镉、六价铬、多溴联苯和多溴二苯醚）的测定

YS/T935电子薄膜用高纯金属溅射靶材纯度等级及杂质含量分析和报告标准指南

3要求

3.1原料要求

3.1.1不锈钢衬管

钢材应为奥氏体不锈钢无缝管。

3.1.2硅粉纯度

硅粉标称含量应大于等于99.95%。

3.2硅涂层杂质元素限量指标

硅涂层杂质元素限量指标应符合表1的规定。

表1硅涂层杂质元素限量指标

杂质