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全氢聚硅氮烷转化为氧化硅的机理剖析与多元应用探索
二、全氢聚硅氮烷与氧化硅概述
2.1全氢聚硅氮烷的结构与性质
全氢聚硅氮烷(Polysilazane,PHPS),是一种以硅、氮、氢为主要元素的新型有机硅化合物,其分子结构中硅原子与氢原子、氮原子通过共价键结合,形成稳定的有机硅氮烷结构,分子式为Si(NH)?,相对分子质量约为100。作为一类主链以Si-N键为重复单元的无机聚合物,其结构通式为[-Si=N-]n,其中n表示聚合度,侧基均为氢原子,整个分子不含有任何有机基团。
在全氢聚硅氮烷的分子结构中,Si-N键具有很强的共价作用力,这使得其在高温和高压条件下仍能保持一
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