T_EBA 40004-2024 （10-1~10-7）Pa真空计现场校准规范.docxVIP

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中国团体标准

T/EBA.40004－2024

（10-1~10-7）Pa真空计现场校准规范

CalibrationSpecificationforOn-siteCalibrationof(10-1~10-7)PaVacuumGauge

2024－09－10发布2024－09－18实施

北京电子仪器行业协会发布

T/EBA.40004－2024

I

前言

本标准由北京东方计量测试研究所提出。本标准由北京电子仪器行业协会归口。

本标准主要起草单位：北京东方计量测试研究所。

本标准参与起草单位：中国航发南方工业有限公司、西安飞机工业（集团）有限责任公司、中国航发北京航空材料研究院、成都兴睿宝电子科技有限公司、亿维智能航天科技（烟台）有限公司。

本标准主要起草人：柏向春、田虎林、董云宁、王汐月、闫睿、杨振、张湧颀、姚雪琦、卢耀文、郭宇扬、余荣、陈春、蓝娟、高威、陈静、贺良武、聂建力、朱振良。

T/EBA.40004－2024

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（10-1~10-7）Pa真空计现场校准规范

1范围

1.1主题内容

本规范规定了（10-1~10-7）Pa真空计现场校准的原理、校准条件、校准项目、校准过程、校准结果的处理。

1.2适用范围

本规范适用于采用真空度现场校准装置对测量范围为（10-1~10-7）Pa内的真空计实现工作现场的校准和使用中检查。

2规范性引用文件

下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单（不包含勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的必威体育精装版版本。凡是不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本适用于本标准。

GB/T3163真空技术术语

JJF1062电离真空计校准规范

3术语定义

3.1动态流量法Dynamicflowmethod

采用动态流量的方法得到的标准压力与被校准真空计所测压力相比较的校准方法。

3.2动态比对法Dynamicexpansionmethod

采用动态的方法得到的标准压力与被校准真空计所测压力相比较的校准方法。

4概述

4.1简介

针对高精度电子器件的生产现场所使用的真空设备不能长时间停产，为了现场真空度参数的校准溯源问题，要求现场开展校准、大幅缩减计量检测时间的工作，采用比实验室设备小巧、便携的真空度现场校准装置在生产现场对真空计实现校准工作。真空计现场校准的测量范围为（10-1~10-7）Pa内的真空计。

4.2构造

真空计现场校准使用的真空度现场校准装置具有小巧、便携、容易移动的特性，能够带入生产现场开展校准工作。真空度现场校准装置主要由校准室、标准真空计、抽气系统、控制系统等组成，RP1为机械泵；TMP1、TMP2为分子泵；VC1为校准室；VC2为稳压室；C1，C2，C3是小孔；V1为插板阀：V4为微调阀；V11、V12为电磁阀；其余阀门为球阀；G1为电离规；G2为全量程真空计；G3、G4、G5是满量程为133Pa、1330Pa、133000Pa的电容薄膜真空计，装置原理图如图1所示。

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图1真空计现场校准装置原理图

4.3原理

4.3.1动态流量法

动态流量法是在分子流条件下采用进气小孔C1对较高压力的气体连续膨胀到校准室中，通过校准室下方的限流抽气小孔C2对校准室连续抽气，在校准室中形成动态平衡的稳定压力，以此压力作为参考标准校准真空计。标准压力的计算公式如下：

P2=P1（1）

式中：P1—进气小孔C1入口的压力，单位：Pa；P2—校准室中的压力，单位：Pa；

C1—进气小孔C1的标准流导值，单位：m3/s；

C2—限流抽气小孔C2的标准流导值，单位：m3/s；α—限流抽气小孔C2处的返流比。

4.3.2动态比对法

通过进气阀门向校准室中引入一定量的气体，同时通过校准室下方的限流抽气小孔对校准室连续抽气，在校准室内形成动态稳定的气体压力，通过被校准真空计和参考标准同时测量校准室压力，进行比较从而实现校准。

4.4技术指标

本标准要求的计量技术指标为压力示值误差，真空计压力示值允许误差限见表1。表1压力示值允许误差限

真空计种类标准项目