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基于分子动力学的TiN薄膜沉积行为与性能多维度解析

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代材料科学领域，薄膜材料因其独特的性能和广泛的应用前景而备受关注。TiN薄膜作为一种重要的过渡金属氮化物薄膜，凭借其高硬度、高耐磨性、良好的化学稳定性、独特的金黄色外观以及低电阻率和优异的扩散阻挡层性质，在众多领域展现出了巨大的应用价值。

在涂层领域，TiN薄膜的高硬度和高耐磨性使其成为刀具和模具表面涂层的理想选择。通过在刀具表面沉积TiN薄膜，可以显著提高刀具的切削性能和使用寿命。例如，在金属切削加工中，TiN涂层刀具能够有效抵抗磨损，降低切削力，提高加工精度和表面质量，从而提高生产效率，降