基于ATE与结构分析的RRAM芯片测试技术研究.pdf

电子与封装

第24卷。第7期总第255期

V01．24。No．7ELECTRONICS＆PACKAGING2024年7月

圆圆②⑩国④禽国

基于ATE与结构分析的RRAM芯片测试技术研究

奚留华，徐昊，张凯虹，武乾文，王一伟

(无锡中微腾芯电子有限公司，江苏无锡214035)

摘要：为了测试阻变存储器(RRAM)芯片，基于RRAM芯片的基本结构、接口定义、功能，分

析并总结了其性能、工作模式和芯片时序。通过公式计算与实测技术相结合的方法，测定了RRAM

芯片的容量。结果表明，基于结构分析的公式计算可依据RRAM存储单元的间距推导出RRAM芯片

的容量。利用自动测试系统对RRAM芯片进行功能验证。同时，设计了1款RRAM芯片耐久性测试

装置，全面评估了RRAM芯片的擦写性能。

关键词：RRAM芯片；ATE；测试算法；结构分析

中图分类号：TN407文献标志码：A文章编号：1681—1070(2024)07-070206

DOI：10．16257／j．cnki．1681．1070．2024．0082

中文引用格式：奚留华，徐吴，张凯虹，等．基于ATE与结构分析的RRAM芯片测试技术研究[J]．电子与封装，

2024，24(7)：070206．

RRAMbasedonATE

a1．Researchon

英文引用格式：XILiuhua，XUHao，ZHANGKaihong，etchiptestingtechnology

andstructural

analysis[J]．ElectronicsPackaging，2024，24(7)：070206．

ResearchonRRAMBasedonATEandStructural

ChipTestingTechnologyAnalysis

XIYiwei

Liuhua，XUHao，ZHANGQianwen，WANG

Kaihong，、W

CMCElectronics

(形眦iCo．，Ltd．，Wuxi

214035，China)

Abstract：Inordertotesttheresistive—variablemodeand

memory(RRAM)chip，theperformance，working

areandsummarizedonthebasicdefinitionandfunctionofthe

chiptiminganalyzedbasedstructure，interface

RRAMwithacmal

oftheRRAMismeasuredformulacalculation

chip．Thecapacitychipbycombining

measurementresultsshowthattheformulacalculationbasedon