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电子束沉积激光薄膜光学与力学稳定性的提升路径与策略研究

一、引言

1.1研究背景与意义

随着现代光学技术的飞速发展，电子束沉积激光薄膜作为一种重要的光学元件，在众多领域中发挥着关键作用。从高功率激光系统中的反射镜、透镜，到光通信领域的滤波器、波分复用器，再到精密光学仪器中的分光镜、偏振镜等，电子束沉积激光薄膜的身影无处不在。在高功率激光系统中，薄膜的光学性能直接影响激光的传输、聚焦和能量分布，进而决定系统的输出功率和光束质量；在光通信领域，薄膜的特性决定了光信号的传输效率、带宽和稳定性，对通信质量起着决定性作用。

然而，当前电子束沉积激光薄膜在光学与力学稳定性方面仍面临诸多挑战。在光学稳定性