MEMS技术赋能下的单片集成三轴加速度传感器：原理、设计与应用.docx

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2025-03-10 发布于上海
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MEMS技术赋能下的单片集成三轴加速度传感器：原理、设计与应用

一、引言

1.1研究背景与意义

1.1.1研究背景

MEMS（Micro-Electro-MechanicalSystem）技术，即微机电系统技术，是在微电子技术、集成电路技术及其加工工艺的基础上发展而来的多学科交叉、多技术融合的高科技领域。其起源可追溯至20世纪50年代，硅的压阻效应被发现后，学者们开始对硅传感器展开研究。20世纪70年代末至90年代，汽车行业对安全气囊、制动压力、轮胎压力检测系统等的应用需求增长，推动了MEMS行业发展的第一次浪潮，压力传感器和加速度计取得快速发展。1979年，Ro