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三氯氢硅在氢气氛中的热分解及还原体系的动力学模拟

三氯氢硅在氢气氛中的热分解及还原体系的动力学模拟（1）．．．．．．3

内容描述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

1.2国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.3研究目的和内容．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

材料与方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

2.1实验材料与设备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

2.2测试仪器与技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

2.3数据处理与分析方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

热分解反应动力学模型．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

3.1基础概念与理论框架．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

3.2热分解反应机理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

3.3动力学方程建立．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

还原反应动力学模型．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

4.1基本原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

4.2氢气对还原过程的影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

4.3还原反应动力学方程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

数值计算与仿真结果．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

5.1数值求解算法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

5.2计算结果分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

5.3对比实验数据．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

结果讨论与结论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18

6.1主要发现．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19

6.2具体问题解析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20

6.3未来工作展望．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21

三氯氢硅在氢气氛中的热分解及还原体系的动力学模拟（2）．．．．．22

一、内容概要．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22

二、三氯氢硅热分解概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22

三氯氢硅性质及用途．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

热分解反应原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

氢气氛环境对热分解的影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24

三、动力学模型建立．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24

建立模型的基本假设．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25

动力学模型的数学表达式．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26

模型参数确定与求解方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27

四、热分解及还原体系的动力学模拟．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28

模拟过程描述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29

模拟结果分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29

模拟结果与实验结果的对比．．．．．．．．．．．．．．．．．

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