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《石墨烯声表面波滤波器结构规范》

编制说明

一、标准制定的必要性

本项目的主要目的在于克服现有技术的缺点与不足，

提供一种石墨烯声表面波滤波器结构制备规范，涉及到石

墨烯声表面波滤波器结构领域，包括压电基片，压电基片

的上方固定设置有金属电极层，石墨烯层以镀膜的方式固

定在金属电极层的外圈处，两者之间连接结构牢固，代替

了贴合在金属电极层表面的方式，不易脱落，使得电流在

通过金属电极层时不易因高温而使得石墨烯层脱落，利用

石墨烯高热导率及高电导率的特性，根据趋肤效应的原理，

高频信号在金属电极层的表面传输，电流集中在表层的石

墨烯层，其较高的电导率降低了金属电极层带来的热损耗，

从而降低了叉指换能器电阻带来的插入损耗，同时高热导

率的石墨烯层也提升了声表面滤波器的散热能力，起到改

善功率耐受性的作用。

二、项目背景及工作情况

（一）项目背景

声表面波滤波器在现代通讯系统中起到越来越重要的作

用，基站建设、卫星通讯和个人移动通信设备中都会涉及到

几款、乃至几十款的声表面波滤波器。通信频段的不断增加，

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通讯设备越来越复杂化，同时滤波器模块的体积也在不断压

缩，为了同时获得大容量，高速率，要求通讯滤波器具有更

低的插入损耗和更高的功率耐受性。

关于降低声表面波滤波器插入损耗的研究是声表面波器

件领域的热门课题，其中村田电子研究所设计的超高效

(IncredibleHighPerformance，IHP)结构声表面波滤波器，

利用不同声速的压电薄膜材料，制备成叠层结构，通过增强

界面的反射，将声表面波束缚在表层压电晶体上，有效地减

少了声表面波能量的泄露，器件最小插入损耗可以达到

1.0dB，但IHP声表面波基片材料对工艺的要求很高，制作难

度较大。

功率耐受能力也是声表面波滤波器的一个重要指标，随

着声表面波器件频率的不断升高、器件尺寸小型化，声表面

波器件叉指电极的宽度、汇流条尺寸和封装电极尺寸都在不

断缩小，常规声表面波器件的耐功率特性随着频率的升高越

来越差，且现代通讯信号功率越来越大，对声表面波器件的

功率耐受性提出了更高的要求，因此对声表面波器件功率耐

受性的研究也变得越来越重要。

（二）任务来源

石墨烯介质层是直接覆盖在金属电极层的表面，两者

之间在实际贴合时贴合度较差，尤其在导电高热的环境下，

石墨烯介质层容易膨胀，从而增加石墨烯介质层和金属电

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极层表面之间的间隙，使得石墨烯介质层和金属电机层表

面接触面积变小，从而降低了声表面滤波器的散热能力。

因此，一种石墨烯声表面波滤波器结构规范及其制备方法

来解决上述问题。广州科慧健远医疗科技有限公司提出制

定该项团体标准。

（三）标准起草单位

本标准的主要起草单位是广州科慧健远医疗科技有限

公司、武汉市昱呈星医疗科技有限责任公司、广州言成智能

设备股份有限公司、科慧健远（广州）智能设备有限公司、

广州鼎成信息科技有限公司、广州科慧健远科学研究院有限

公司、广州鹏远智能设备有限公司、上海赛欧信息技术有限

公司、广州贝鼎科技有限公司、江苏雅泰歌思通讯技术有限

公司、南京市恒临沣信息技术有限公司、广州高远数控科技

有限公司、雅泰歌思（上海）通讯科技有限公司、楚科云（武

汉）科技发展有限公司、瑞湖智科数据（苏州）有限公司、

楚瑞智能科技（苏州）有限公司、广东问鼎科技发展有限公

司、英芙泰氪（青岛）科技有限公司、永迅亚洲有限公司参

与起草。

（四）标准研制过程及相关工作计划

1.团体标准《石墨烯声表面波滤波器结构制备规

范》在2022年7月完成了项目可行性分析，标准的研制工

作于2022年7月正式启动，选择、确定技术水平高、责任

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心强的专业技术人员，组建了标准起草小组。

2.2022年7月中旬提出了标准框架，并根据标准的

框架结构进行资料收集，编写了标准草案，向粤港澳标准

化与质量发展促进会递交资料提出立项申请。

3.2022年8月，完成标准草案的完善，并小范围内

部征求意见，根据反馈意见修改形成《征求意见稿》，全

面公开征