2025年半导体激光测试装置及测试方法 .pdfVIP

丹青不知老将至，贫贱于我如浮云。——杜甫

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(10)申请公布号CNA

202520251

(43)申请公布日2025.11.12

(21)申请号CN202520252025.7

(22)申请日2014.07.10

(71)申请人深圳清华大学研究院;深圳瑞波光电子有限公司

地址518057广东省深圳市南山区高新技术产业园南区深圳清华大学研究院大楼A302

室

(72)发明人胡海夏虹赵楚中刘文斌李成鹏

(74)专利代理机构深圳市鼎言知识产权代理有限公司

代理人孔丽霞

(51)Int.CI

G01N21/95

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

半导体激光测试装置及测试方法

(57)摘要

本发明提供一种半导体激光测试装

置，其包括一个用于承载一个样品的导体

载物台、一个电源、一个正对该导体载物

台设置的光学系统及与该光学系统光学耦

合的一个激光光源、一个成像装置及一个

光谱仪。该电源包括一个阳极探针及一个

阴极探针，该电源用于通过该阳极探针及

好学近乎知，力行近乎仁，知耻近乎勇。——《中庸》

该阴极探针向该样品输出一个工作电压以

使该样品电致发光(EL)。该激光光源用于

发射激光，该激光通过该光学系统投射在

该样品上以使该样品光致发光(PL)；该成

像系统用于通过该光学系统对EL或PL的

该样品成像；该光谱仪用于通过该光学系

统测量该样品EL或PL的波长。本发明还

提供一种半导体激光测试方法。

法律状态

法律状态公告日法律状态信息法律状态

穷则独善其身，达则兼善天下。——《孟子》

权利要求说明书

1.一种半导体激光测试装置,其包括:

一个用于承载一个样品的导体载物台;

一个电源,包括一个阳极探针及一个阴极探针,该电源用于通过该阳极探针及该阴极

探针向该样品输出一个工作电压以使该样品电致发光(EL);

一个正对该导体载物台设置的光学系统;及

与该光学系统光学耦合的一个激光光源、一个成像装置及一个光谱仪;该激光光源

用于发射激光,该激光通过该光学系统投射在该样品上以使该样品光致发光(PL);该

成像系统用于通过该光学系统对EL或PL的该样品成像;该光谱仪用于通过该光学

系统测量该样品EL或PL的光谱波长。

2.如权利要求1所述的半导体激光测试装置,其特征在于,该光学系统包括:

一个正对该导体载物台设置的显微镜系统;

一个设置于该显微镜系统与该导体载物台相背一侧的分光装置,该分光装置与该显

微镜系统光耦合,并包括一个分光面;该成像装置设置在该分光面的发射光路上;及

一个设置在该分光面的透射光路上的Y形光纤,该Y形光纤包括一个正对该分光面