2025年半导体设备智能故障诊断考核试卷 .pdfVIP

天行健，君子以自强不息。地势坤，君子以厚德载物。——《周易》

半导体设备智能故障诊断考核试卷

考生姓名：__________答题日期：__________得分：__________判卷人：__________

一、单项选择题（本题共20小题，每小题1分，共20分，在每小题给出的四个选项中，只

有一项是符合题目要求的）

1.半导体设备智能故障诊断中，以下哪种技术不属于常见的数据预处理方法？（）

A.数据清洗

B.数据集成

C.数据挖掘

D.数据归一化

2.以下哪一项不是半导体设备故障诊断的特点？（）

A.数据量庞大

B.故障类型多样

C.故障传播速度快

D.故障自恢复性强

3.在半导体设备智能故障诊断中，以下哪种算法应用最广泛？（）

A.决策树

B.支持向量机

C.逻辑回归

D.神经网络

4.以下哪种传感器在半导体设备状态监测中应用较少？（）

A.压力传感器

B.温度传感器

C.湿度传感器

D.光强传感器

5.在半导体设备故障诊断中，以下哪种方法不适用于特征提取？（）

A.主成分分析

B.独立成分分析

C.傅里叶变换

D.小波变换

6.以下哪个指标不是评价半导体设备故障诊断模型的性能指标？（）

A.准确率

B.精确率

C.召回率

D.费米熵

7.在半导体设备智能故障诊断中，以下哪种方法常用于处理不平衡数据集？（）

A.过采样

B.欠采样

C.SMOTE算法

D.以上都是

8.以下哪种技术不适用于半导体设备故障诊断的实时监测？（）

A.云计算

B.边缘计算

C.分布式计算

百学须先立志。——朱熹

D.神经形态计算

9.在半导体设备智能故障诊断中，以下哪种模型属于有监督学习？（）

A.K-means聚类

B.自组织映射

C.支持向量机

D.Apriori算法

10.以下哪个领域不是人工智能在半导体设备故障诊断中的应用方向？（）

A.数据挖掘

B.机器学习

C.深度学习

D.量子计算

11.在半导体设备故障诊断中，以下哪个环节不属于数据挖掘的五个主要步骤？（）

A.数据采集

B.数据预处理

C.特征提取

D.数据可视化

12.以下哪种方法在半导体设备故障诊断中不适用于异常检测？（）

A.箱线图

B.DBSCAN聚类

C.IF-THEN规则

D.隐马尔可夫模型

13.在半导体设备智能故障诊断中，以下哪个概念与“过拟合”相对？（）

A.欠拟合

B.正则化

C.交叉验证

D.梯度下降

14.以下哪个算法不是基于神经网络的半导体设备故障诊断方法？（）

A.BP算法

B.RBF算法

C.SVM算法

D.CNN算法

15.在半导体设备故障诊断中，以下哪个参数不是影响决策树性能的关键参数？（）