双腔接触式电容MEMS器件：振动波检测的创新探索.docx

双腔接触式电容MEMS器件：振动波检测的创新探索

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的飞速发展，微机电系统（MEMS，Micro-Electro-MechanicalSystems）技术已成为当今世界极具发展潜力的前沿技术之一。MEMS技术是一种将微传感器、微执行器、微结构、信号处理与控制电路、电源以及通信接口等集成在一片或者多片芯片上的微型器件或系统。它融合了微电子技术、微机械加工技术、材料科学、传感器技术等多学科的知识，实现了电子系统与机械系统的紧密结合，使得器件具有体积小、重量轻、功耗低、成本低、可靠性高、性能优异等诸多优点。

自20世纪50年代MEMS技术起源以