扫描型光学散射特性测量仪标准文本附编制说明.pdf

ICS17.040.030

CCSN30

团体标准

T/SSCIPA00X—2025

扫描型光学散射特性测量仪

Scanningopticalscatterometer

2025–XX–XX发布2025–XX–XX实施

四川省科技协同创新促进会发布

T/SSCIPAXXX—2025

扫描型光学散射特性测量仪

1范围

本文件规定了工作波长范围覆盖紫外、可见光、红外波段的扫描型光学散射特性测量仪的产品结构

和参数、技术要求、检测方法、检验规则及标志、包装、运输、储存等。

本文件适用于扫描型光学散射特性测量仪。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T13384机电产品包装通用技术条件

GB/T2423.1电工电子产品环境试验第2部分:试验方法试验A:低温

GB/T2423.2电工电子产品环境试验第2部分:试验方法试验B:高温

GB/T2423.3电工电子产品基本环境试验规程试验Cab:恒定湿热试验方法

GB/T4208外壳防护等级

GB4793.1测量、控制和实验室用电气设备的安全要求第1部分:通用要求

GB7247.1激光产品的安全第1部分:设备分类、要求

GB/T17421.2机床检验通则第2部分：数控轴线的定位精度和重复定位精度的确定

JCGM100-2008Evaluationofmeasurementdata-Guidetotheexpressionofuncertaintyin

measurementdata

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1扫描型光学散射特性测量仪

利用单色光源（通常为激光器）或宽光谱光源通过光谱纯化设备（通常为单色仪）转化为单色光源

作为照明光源，经过一系列光学处理（包括准直扩束、整形、滤波、偏振、会聚、耦合等）后投射至被

测样片表面，产生的空间分布散射光被三维精密运动的探测系统扫描采集与转换，通过标定、数据处理、

数据融合等输出用户指定的物理量（双向反射分布函数BRDF、双向透射分布函数BTDF等）。

4产品结构和参数

1

T/SSCIPAXXX—2025

4.1产品结构

扫描型光学散射特性测量仪的核心构成部分如下：

a）照明光源系统；

b）探测系统；

c）角度扫描机构；

d）样片调整机构；

e）数据采集与处理系统；

f）电控系统；

g）主控软件（可集成数据处理功能）；

h）数据处理软件；

i）附件（包含外观钣金、样片夹持工具、标定工具等）。

4.2基本参数

扫描型光学散射特性测量仪的基本参数如下：

a）光源类型：激光器或宽光谱光源+单色仪；

b）测试波长/波段（可从以下选择单波长或波段组合）：

1）紫外波段（UV，10-380nm）；

2）可见光波段（VIS，380-780nm）；

3）近红外波段（NIR，780-1100nm）；

4）短波红外波段（SWIR，1.1-3.0μm）；

5）中波红外波段（MWIR，3.0-6.0μm）；

6）长波红外波段（LWIR，6.0-15.0μm）；

c）样片对准：电动或者手