刻蚀用硅部件，全球前26强生产商排名及市场份额（by QYResearch）.pdfVIP

全球市场研究报告

刻蚀用硅部件全球市场总体规模

刻蚀设备用硅部件是晶圆制造刻蚀环节所需的核心耗材，主要包括硅电极（siliconelectrodes）及硅环（silicon

rings）等。硅电极表面有密集微小通孔，在晶圆制造刻蚀环节，硅电极除了作为附加电压的电极，还作为刻

蚀气体进入腔体的通路；硅环是支撑硅电极及其他相关零件的承载部件，保证等离子干式刻蚀机腔体的密

封性和纯净度，同时对硅晶圆边缘进行保护。

随着硅片制造技术多年的发展，刻蚀技术发生了许多变化，从最早的圆筒式刻蚀，发展到现代的等离子体刻

蚀，其中使用等离子体的干法刻蚀已经成为主流的刻蚀工艺。与传统刻蚀设备相比，等离子体刻蚀设备中加

入了构造精密的刻蚀反应腔室。传统腔室部件以陶瓷材料为主，但其容易导致缺陷。此外，晶圆与陶瓷元件

的电性差异也使得靠近晶圆边缘的等离子体难以控制，对产品良品率产生影响。相对于陶瓷材料，硅材料所

制成的部件不易导致缺陷，且与晶圆电特性相同，因此能够精密控制边缘处的等离子体，使产品良品率提

高。

据QYResearch调研团队必威体育精装版报告“全球刻蚀用硅部件市场报告2025-2031”显示，预计2031年全球刻蚀

用硅部件市场规模将达到27.9亿美元，未来几年年复合增长率CAGR为7.6%。

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图.刻蚀用硅部件，全球市场总体规模

GlobalMarketSize($Mn)

202020252031

如上图表/数据，摘自QYResearch半导体研究中心必威体育精装版报告“全球刻蚀用硅部件市场研究报告2025-2031”.

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图.全球刻蚀用硅部件市场前25强生产商排名及市场占有率（基于2025年调研数据；目前必威体育精装版数据以

本公司必威体育精装版调研数据为准）

全球市场主要企业排名

SilfexInc.

HanaMaterialsInc.

WorldexIndustryTradingCo.,…

CoorsTek

三菱材料

RSTechnologiesCo.,Ltd.

HahnCompany

KCPartsTech.,Ltd.

宁夏盾源聚芯半导体科技股份有…

杭州泰谷諾石英有限公司

DSTechno

锦州神工半导体股份有限公司

重庆臻宝科技股份有限公司

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