KEYENCE基恩士Ionizing technology 粒子运动与附着篇.pdf

和mm三

基原十

静电和静电消除器使用说明书

Ionlizingtechnology

目孙

概要.。。,。.。.,。。。.”.。。。,,.。.。,。。。。,。,rNo.2

对悬浮颗粒产咎作用的静电力.pp,,.,,,.。.No.2

库伦力

影像尹《镜像力)

介电泳力《〈电场梯度力)

有助于静电力附闭的比例,...。。。,。。。。、。,。。.,。。No.3

计算附着速度,,。,。。。。。”nrNo.4

防止附着No.4

必威体育精装版技术介绍,,.。。。。。。。。。。。。。。、。。。,。No.5

DualIC.C.控制

清洗气体屏蔽系统

KEYENCE”|Ionzingtecmnoloey|粒子运动与附着篇No2一

随着过滤器技术的进步，供应至洁痊室内的空气中几乎不存在粒径大的颗粒。但古在洁净室内，因为各种生

产装置会产生粒了上，所以会导致设备成品效降低等各种故障。

因此，就悬浮粒子及其对.工件的附兰进行了各种各样的研究。结果得出引起悬浮粒子附佑现象的物理原因主

要为重力、布朗运动、静电力这一点。特别是关于几Anm以下人小的粒子，静电力的影响要远远人于其他两

个因素。

这里以静电力为中心，对粒子运动进行说明。

生生忆训信遇二二二二二后是

电场中的厅浮粒子有库伦尹、影像九、介电泳力这三种静电力在过动。

但十，介电汪力无论物体间距离大小均明显小寺库伦力和影像力，因此般认为粒了附着相关的东电力主要

是库伦力和影像力。

物体问距离如果接近粒子粒径数倍时，影像力人于库伦力。但是媚果超过这一范围，和库伦力相比，多数情

况下影像力可忽略不计。

下面对库伦力、影像力、介电泳力分别进行说明。

国库伦力

两点电荷qd1、q2之疗的距离为Y，根据库伦法则

人q2

-和

)带电物体距离带电物体

就有与电荷量成工比，与距离的平方成反比的力。该力称为库伦方。是主要在贞个珊电物体之问运动的静电

力。

国影像力〈镜像力)

契在带电物体和本带电金属导体之问，或者带电物体和林带电绝缘体之阅运动的蒋电力。同时也可以说古由

藤电感应产生的和藤电力。

出于静电感应与带电物体之问产生极性相芭的电荷

国介电泳力〈电场梯度力)

即吸附不带电物体的力。

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