单晶炉机械结构课件.pptVIP

晶體提升機構維護週期表設備名稱維修週期步驟籽晶鋼纜每次運行檢查磨損、損壞情況籽晶提升滑輪及卷絲輪每個月清潔並檢查對中性晶轉和晶升皮帶3個月檢查磨損/對中和張力晶轉、晶升電機雜訊、刷磨損3個月檢查碳刷長度聯軸器緊定螺釘3個月檢查緊固性晶升離合器組件的調整3個月檢查離合器間隙及動作坩堝提升機構滾珠直線導軌精密絲杆，自鎖承受軸向力磁流體密封快慢速雙電機光電編碼計行程坩堝提升機構（主視）坩堝提升機構（俯視）**申請情況介紹主要包括四個方面，背景和意義，重點研究內容、關鍵技術及目標，已有的基礎和條件，專案經費安排。*單晶矽生產爐是將多晶矽料在石英坩堝內進行高溫熔化，在嚴格的真空度和氬氣氣氛保護下，通過籽晶插入多晶熔體後，形成過冷態進行有規律矽結晶生長。控制系統主要是控制熔體溫度、晶體拉速、轉速、氬氣流量、真空度、坩堝升速、轉速及其工藝參數的實現與控制。*申請情況介紹主要包括四個方面，背景和意義，重點研究內容、關鍵技術及目標，已有的基礎和條件，專案經費安排。*申請情況介紹主要包括四個方面，背景和意義，重點研究內容、關鍵技術及目標，已有的基礎和條件，專案經費安排。*申請情況介紹主要包括四個方面，背景和意義，重點研究內容、關鍵技術及目標，已有的基礎和條件，專案經費安排。*申請情況介紹主要包括四個方面，背景和意義，重點研究內容、關鍵技術及目標，已有的基礎和條件，專案經費安排。*申請情況介紹主要包括四個方面，背景和意義，重點研究內容、關鍵技術及目標，已有的基礎和條件，專案經費安排。TDR85A-ZJS單晶爐的機械

結構與維修背景—半導體生產流程拉制單晶棒（本產品研究環節）石英砂－金屬矽多晶單晶矽棒單晶矽片積體電路太陽能電池太陽能電池應用積體電路應用設備簡介 直拉式單晶矽生長爐是一種高效率製備矽單晶體的設備。 將多晶矽原料放在爐體的石英坩堝內進行高溫熔化（大於1450℃），在低真空度和氬氣保護下，通過籽晶插入多晶矽熔體後，在籽晶周圍形成過冷態並進行有規律結晶生長，形成一根單晶棒體。 工藝過程加熱器籽晶CCD坩堝提升旋轉機構坩堝抽真空檢漏調壓熔料穩定熔接引晶放肩轉肩等徑收尾停爐氧化籽晶提升旋轉機構單晶棒液面測溫儀熱場測溫儀氬氣流量熔料引晶放肩等晶收尾TDR85A-ZJS全自動晶體生長爐整體結構尺寸爐體電控櫃電源櫃總重整體結構尺寸介面尺寸籽晶提升機構經過靜平衡和動平衡測試帶稱重感測器快慢速雙電機外置限位調節觀測玻璃窗光電編碼計行程晶體提升機構晶體提升機構結構（主視）晶體提升機構結構（俯視）晶體提升腔拆裝及調整1、拔下稱重感測器腔上的航空插頭。2、從鋼絲繩上取下籽晶夾頭。3、將纜索管下降到如左圖所示位置之後，取下鋼絲繩。4、鬆開第二級蝸輪蝸杆減速箱輸出軸上卡環的內六角螺釘，鬆開剛性連軸器右側的緊定螺釘，將其向外滑出。小心不要把聯軸器上的十字塊跌落。5、鬆開行程塊的2顆固定螺釘，卸下同步帶。6、拆下把提升腔固定到晶升底板上的兩個螺釘。螺釘是從底板下麵向上旋進的。7、把提升腔垂直平穩向上提起，小心不要破壞提升腔的內孔以及晶轉磁流體密封的O型圈和軸。8、鬆開2顆鉸鏈螺釘，使稱重腔與提升腔脫離。拆裝鋼絲繩時纜索管位置晶體提升腔拆裝及調整取出壓力輥子組件右端蓋左端蓋取出右端蓋花鍵軸、纜索管取出晶轉磁流體10拆下提升腔右端蓋的4顆螺釘。11拆下提升腔左端蓋的蓋板，用銅棒敲擊花鍵軸，將其向右端推出，同時順時針旋轉花鍵軸使得纜索管從銅螺母的螺紋上脫開，將花鍵軸、纜索管、右端蓋以及晶轉磁流體密封作為一個整體從提升腔內抽出。12用小拉馬取下花鍵軸左端的滾動軸承。13鬆開並取下把花鍵軸滑套固定到纜索管上的4顆螺釘。9鬆開壓力滾子組件固定到提升腔上的4顆螺釘，拆下壓力滾子組件。14將纜索管從花鍵滑套上拉出，小心，不要把滑套拉出花鍵軸，否則，滾珠將會從滾槽中掉下來。晶體提升腔拆裝及調整15、拆下提升腔左端蓋的4顆螺釘，將左端蓋連同銅螺母一起從提升腔內抽出。16、拆下把銅螺母固定到蓋端上的4顆螺釘，取下銅螺母。17、重裝時，首先銅螺母裝回端蓋，裝回把銅螺母固定到蓋端上的4顆螺釘。18、將右端蓋裝回提升腔，上緊固定螺釘。19、將纜索管裝入花鍵滑套，上緊固定螺釘。20、裝回花鍵軸左端的滾動軸承。21、將花鍵軸、纜索管、右端蓋以及晶轉磁流體密封作為一個整體從提升腔右側送入，逆