针方法测电阻率.pptVIP

四探针方法测量不规则半导体的电阻率〈一〉实验目的〈二〉实验原理〈三〉实验步骤〈四〉注意事项〈五〉心得体会0102测量不规则半导体电阻率验证四探针法修正公式一实验目的理想情况下，四根探针位于样品中央，电流从探针1流入，从探针4流出，则可将1和4探针认为是点电流源。2、3探针的电位差为：半无穷大样品点电流源的半球等位面实验原理由此可得出样品的电阻率为：01簿片电阻率测量簿片样品因为其厚度与探针间距比较，不能忽略，测量时要提供样品的厚度形状和测量位置的修正系数。02下面考虑一般情况下的修正：当圆形硅片的厚度满足W/S＜0.5时，电阻率为：01.这就是我们实验时用到的公式02.下面通过实验数据验证该修正公式的正确性：03.测试准备：电源开关置于断开位置，工作选择置于“短路”，电流开关处于弹出切断位置。将测试样品放在样品架上，调节高度手轮，使探针能与其表面保持良好接触。打开电源并预热１小时。三实验步骤极性开关置于上方，工作状态选择开关置于“短路”，拨动电流和电压量程开关，置于样品测量所合适的电流、电压量程范围。调节电压表的粗调细调调零，使显示为零。显示板2、单位显示灯3、电流量程开关4、工作选择开关（短路、测量、调节、自校选择）5、电压量程开关6、输入插座7、调零细调8、调零粗调9、电流调节10、电源开关11、电流选择开关12、极性开关工作状态选择开关置于“测量”，按下电流开关输出恒定电流，即可由数字显示板和单位显示灯直接读出测量值。再将极性开关拨至下方（负极性），按下电流开，读出测量值，将两次测量值取平均，即为样品在该处的电阻率值。关如果“±”极性发出闪烁信号，则测量数值已超过此电压量程，应将电压量程开关拨到更高档，读数后退出电流开关，数字显示恢复到零位.12实验数据与实验预期结果相吻合，因此该验证公式较为理想。通过修正公式修正后，得到：