YST-高纯铜蒸发料.docx

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YS发布中华人民共和国工业和信息化部ICS77.150.30CCSH62202X-XX-XX实施202X-XX-XX发布高纯铜蒸发料

YS

发布

中华人民共和国工业和信息化部

ICS77.150.30

CCSH62

202X-XX-XX实施

202X-XX-XX发布

高纯铜蒸发料

Highpuritycopperevaporationslug

（送审稿）

YS/TXXXXX-XXXX

中华人民共和国有色金属行业标准

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前言

本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）提出并归口。

本文件起草单位：有研亿金新材料有限公司、有研亿金新材料（山东）有限公司、宁波江丰电子材料股份有限公司、金川集团股份有限公司、宁波江丰电子材料股份有限公司

本文件主要起草人：张巧霞、万小勇、滕海涛、尚再艳、张博厚、张志远、王宇、蒋媛媛、康艳茹、杨文魁、李新蕊、白延利、姚力军、杨晓艳、边逸军

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高纯铜蒸发料

范围

本文件规定了高纯铜蒸发料的分类和标记、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。

本文件适用于半导体行业用的高纯铜蒸发料。

规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本(包括所有的修改单)适用于本文件。

GB/T2828.1计数抽样检验程序第1部分:按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划

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GB/T5121.8铜及铜合金化学分析方法第8部分：氧、氮、氢含量的测定

GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定

YS/T922高纯铜化学分析方法痕量杂质元素含量的测定辉光放电质谱法

术语和定义

本文件没有需要界定的术语和定义。

分类和标记

分类

4.1.1高纯铜蒸发料化学成分分为四个牌号：IC-Cu7N、IC-Cu6N5、IC-Cu6N、IC-Cu5N。

4.1.2高纯铜蒸发料主要分为片状、柱状，如图1所示。

CAB

C

A

B

C

A

B

C

A

B

LD

L

D

b)柱状片状

b)柱状

片状

注：a）中A——长度；B——宽度；C——厚度；b）中L——长度，D——直径。单位均为mm。

图1高纯铜蒸发料示意图

4.2标记

高纯铜蒸发料按产品名称、牌号、尺寸的顺序表示。标记示例如下：

示例1：

用IC-Cu5N牌号制造的、直径为3.0mm、长度为3.0mm的高纯铜蒸发料，标记为：

柱状蒸发料YS/TXXXX—IC-Cu5N，Ф3.0×3.0

示例2：

用IC-Cu6N牌号制造的、长度为10.0mm、宽度为10.0mm、厚度为2.0mm的高纯铜蒸发料，标记为：

片状蒸发料YS/TXXXX—IC-Cu6N，10.0×10.0×2.0

技术要求

化学成分

高纯铜蒸发料的化学成分应符合表1的规定。需方对化学成分有特殊要求时，由供需双方协商，并在订货单中注明。

表1高纯铜蒸发料的化学成分

牌号

IC-Cu7N

IC-Cu6N5

IC-Cu6N

IC-Cu5N

Cu含量a，不小于%

99.99999

99.99995

99.9999

99.999

杂质元素含量（质量分数），不大于

（×10-4）%

Ag

0.05

0.1

0.3

2

Al

0.005

0.005

0.05

0.5

As

0.005

0.01

0.02

0.1

Au

0.005

—

—

—

B

0.005

—

—

—

Be

0.005

—

—

—

Bi

0.005

0.01

0.02

0.2

Ca

0.005

0.01

0.02

0.5

Cd

0.01

0.05

—

0.1

Co

0.005

0.02

—

0.3

Cr

0.005

0.01

0.02

0.1

Fe

0.01

0.05

0.1

0.5

Ga

0.005

—

—

—

Ge

0.005

—

—

—

Hg

0.005

—

—

—

K

0.005

0.01

0.02

—

Li

0.005

—

—

—

Mg

0.005

—

—

—

Mn

0.01

0.02

—

0.1

Mo

0.005

—

—