蒸镀机的运用流程.pptVIP

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蒸镀机的运用与流程evaporation的运做可分为10大类一.蒸镀原理二.运用产业三.真空定义五.机械的运用六.電腦操作四.結構系统十.注意事项九.机台保养八.异常与处理七.運作流程是指将蒸镀源（镀层的材料來源）加热蒸发直接凝结于工件表面而形成镀层。蒸镀金属與元素半导体的镀膜合金的蒸镀砷化镓，娣化銦等化合物的蒸镀应用金属蒸发或氣化的方法很多，包括利用热电阻，輻射，感应，电子束，电弧等方式加热。蒸镀时，基材則属于基能。蒸镀试图如下：蒸发一.真空蒸镀原理二.蒸镀所运用产业光学眼镜车载导行电脑手机三.真空定义一个容器内空间的压力小于大气压就是真空,也可以说若容器内气体分子密度小于2.5*10Torr/CM3(一大气压分子的密度)侧该容器内为真空,简单的表示为:压力﹤大气压力;真空度代表真空系统中压力的程度,一般分为:粗略真空:760--1Torr超高真空:10ˉ7-10ˉ10极高真空:10ˉ10Torr以上高真空:10ˉ3-10ˉ7Torr中度真空:1-10ˉ3Torr自然真空人造真空四.結構系统1.电源供应系统：开机前确认电源是否正常开启（330V），系统务必适当接地（≤10欧姆）4.镀源系统：系统封合真空前，确认电源是否接妥，冷却水的水压是否正常（3Kg/CM2）水温是否正常。2.制冷（水）系统：系统需要制冷机，帮浦使冰水循环，水温需要在（18~20℃）水压要在（3KG/CM2以上）冰水使用在扩散帮浦及真空腔壁，电子枪之冷却；5.抽气系统：检查（DP）温度是否达到220℃，RP动作—FV动作—DP动作3.空压系统：空压压力需在（4KG/CM2以上）6.供气系统：系统制程使用超高纯度氩气氧气；纯度：（99.999%）；五.机械的运用与原理1.RP(回转帮浦）原理：油封式真空帮浦是以油体当做活塞，叶轮转动时，油体被抛向外围形成移动的油封环，油封环内部中空，因为叶轮相对於机体是偏心运转，因此叶轮转动时，在吸入口位置逐渐离开油封环，两叶片间空间逐渐增大而吸入气体，当页轮转到排气口位置时，再度进入油封环，两叶片间空气逐渐缩小，压缩气体并由排气口排出，如此周而复始。注（RP与BP组合运用，可将抽气范围延伸至中真空）压力范围：760-10ˉ3Torr抽气速度：50-3000/M组合运用机械的运用与原理BP（鲁氏帮浦）原理：油封式真空帮浦是以油体当做活塞，叶轮转动时，油体被抛向外围形成移动的油封环，油封环内部中空，因为叶轮相对於机体是偏心运转，因此叶轮转动时，在吸入口位置逐渐离开油封环，两叶片间空间逐渐增大而吸入气体，当页轮转到排气口位置时，再度进入油封环，两叶片间空气逐渐缩小，压缩气体并由排气口排出，如此周而复始。压力范围：50—10ˉ4Torr抽气速度：200—100.000K1/HDP(扩散帮浦)原理:机械的运用与原理当扩散帮浦油锅中的真空油被加热到沸腾温度时,便产生大量的油蒸气,油蒸气经导管由喷嘴高速喷出,被抽分子一旦落入射流范围,便可以从射流中获得向出口方向运动的动量,射流在在往下运动过程中,有冷却水冷却,油分子就被冷凝下来,沿泵壁流回泵的底部,继续循环使用;压力范围:10ˉ3-10ˉ10Torr抽气速度:10/sec-100.000/sec七.电脑操作（抽气画面）电脑操作（流程画面）1.粗抽灯亮，表示粗抽流程已完成,且主画面“细抽灯亮起,表示细抽流程正在运行，Polycold冷却自动启动2.当桶身真空度达到电子枪真空度时，电子枪面板“VAC灯3.电子枪高压被启动,开始蒸镀4.当蒸镀完成后,根据电脑之设定参数,进行泄气流程5.泄气灯亮起,ROTAOFF6.HVOFF系统画面“HV”灯熄,待阀门关闭定位后,坩面面polycold除霜自动开启7.除霜完成后,执行桶身泄气动作运转准备完成粗抽细抽蒸镀准备完成蒸镀泄气开机电脑操作（泄气画面）六.evaporation运做流程一、1.开启总电源开关2.开启电子枪电源；确认：①开启冰水时，确认水压表压力在4KG以上②确认水和气体是否到位亮灯,温度须在18℃--25℃二、1.开启冰水