气敏传感器课件课件.ppt

应用电子学院《传感器技术》应用电子学院《传感器技术》应用电子学院《传感器技术》应用电子学院《传感器技术》应用电子学院《传感器技术》应用电子学院《传感器技术》应用电子学院《传感器技术》应用电子学院《传感器技术》应用电子学院《传感器技术》关于气敏传感器课件第1页，共30页，星期日，2025年，2月5日任务一可燃气体检测气敏传感器的定义：是能够感知环境中某种气体及其浓度的一种敏感器件，它将气体种类及其浓度有关的信息转换成电信号，根据这些电信号的强弱便可获得与待测气体在环境中存在情况有关的信息。气敏传感器可分为半导体气敏传感器、接触燃烧式气敏传感器和电化学气敏传感器等第2页，共30页，星期日，2025年，2月5日气敏传感器外形酒精传感器半导体气敏传感器应用最多。它的应用主要有：一氧化碳气体的检测、瓦斯气体的检测、煤气的检测、氟利昂的检测、呼气中乙醇的检测、人体口腔口臭的检测等等。第3页，共30页，星期日，2025年，2月5日瓦斯是古代植物在堆积成煤的初期，纤维素和有机质经厌氧菌的作用分解而成。在高温、高压的环境中，在成煤的同时，由于物理和化学作用，继续生成瓦斯。瓦斯是无色、无味的气体，但有时可以闻到类似苹果的香味，这是由于芳香族的碳氢气体同瓦斯同时涌出的缘故。瓦斯对空气的相对密度是0.554，在标准状态下瓦斯的密度为0.716kg/m3，瓦斯的渗透能力是空气的1.6倍，难溶于水，不助燃也不能维持呼吸，达到一定浓度时，能使人因缺氧而窒息，并能发生燃烧或爆炸。瓦斯在煤体或围岩中是以游离状态和吸着状态存在的。在标准状况下，甲烷至丁烷以气体状态存在，戊烷以上为液体。如遇明火，即可燃烧，发生“瓦斯”爆炸，直接威胁着矿工的生命安全。因此，矿井工作对“瓦斯”十分重视，除去采取一些必要的安全措施外，有的矿工会提着一个装有金丝雀的鸟笼下到矿井，把鸟笼挂在工作区内。原来，金丝雀对“瓦斯”或其他毒气特别敏感，只要有非常淡薄的“瓦斯”产生，对人体还远不能有致命作用时，金丝雀就已经失去知觉而昏倒。矿工们察觉到这种情景后，可立即撤出矿井，避免伤亡事故的发生第4页，共30页，星期日，2025年，2月5日半导体式气敏传感器的结构及工作原理（P42）半导体式气敏传感器：利用半导体气敏元件同气体接触，造成半导体性质发生变化的原理来检测特定气体的成分或者浓度半导体式气敏传感器可分为电阻式和非电阻式(电阻式和非电阻式的原理需了解)第5页，共30页，星期日，2025年，2月5日半导体式气敏传感器电阻式烧结型薄膜型厚膜型二极管气敏传感器MOS二极管气敏传感器Pd（铂）—MOSFET气敏传感器非电阻式参考书上图片理解第6页，共30页，星期日，2025年，2月5日SnO2系列气敏元件有烧结型、薄膜型和厚膜型三种。烧结型应用最广泛性。其敏感体用粒径很小(平均粒径≤１μm)的SnO2粉体为基本材料，根据需要添加不同的添加剂，混合均匀作为原料。主要用于检测可燃的还原性气体，其工作温度约300℃。根据加热方式，分为直接加热式和旁热式两种。（1）直接加热式SnO2气敏元件(直热式气敏元件)直热式气敏器件结构及符号1234SnO2烧结体加热极兼电极(a)结构4321(b)符号由芯片(敏感体和加热器)，基座和金属防爆网罩三部分组成。因其热容量小、稳定性差，测量电路与加热电路间易相互干扰，加热器与SnO2基体间由于热膨胀系数的差异而导致接触不良，造成元件的失效，现已很少使用。2、电阻式气敏传感器的结构第7页，共30页，星期日，2025年，2月5日（2）旁热式SnO2气敏元件加热器电阻值一般为30Ω～40Ω电极加热器瓷绝缘管旁热式气敏器件结构及符号SnO2烧结体123456（a）结构（b）符号第8页，共30页，星期日，2025年，2月5日是利用气体在半导体表面的氧化还原反应导致敏感元件阻值变化而制成的。举个例子当半导体器件被加热到稳定状态，在气体接触半导体表面而被吸附时，被吸附的分子首先在表面物性自由扩散，失去运动能量，一部分分子被蒸发掉，另一部分残留分子产生热分解而固定在吸附处（化学吸附）。当氧化型气体吸附到N型半导体（SnO2,ZnO)上，还原