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linnik型显微白光光谱干涉测量方法研究--第1页
目录
摘要I
II
第1章绪论
1.1微结构表面形貌测试1
1.2薄膜技术的应用与厚度检测2
1.3白光光谱干涉法4
1.4论文主要内容6
第2章白光光谱干涉基本理论
2.1双光束干涉理论7
2.2白光干涉特性9
2.3干涉可见度与相干长度10
2.4白光时域相干与频域相干11
2.5本章小结12
第3章测量系统构建
3.1系统整体设计13
3.2系统硬件14
3.2.1干涉模块14
3.2.2运动及支撑模块15
3.2.3光谱采集模块16
3.2.4辅助调节模块18
3.3系统软件18
3.4本章小结20
第4章绝对距离及微结构表面形貌测量
4.1绝对距离计算方法21
4.2相位提取算法22
4.2.1傅里叶变换22
4.2.2时间相移法
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