FOUP装置 _原创精品文档.pdfVIP

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（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）实用新型专利

（10）申请公布号

CN208753281U

（43）申请公布日2019.04.16

（21）申请号CN201820940292.0

（22）申请日2018.06.15

（71）申请人德淮半导体有限公司

地址223300江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

（72）发明人张党柱;赵鹏;郭甜;黄志凯;叶日铨

（74）专利代理机构上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人孙佳胤

（51）Int.CI

权利要求说明书说明书幅图

（54）发明名称

FOUP装置

（57）摘要

本实用新型提供的FOUP装置，包括顶板

以及与所述顶板相对的底板；所述顶板与所述底

板之间设置有若干晶圆槽，所述晶圆槽用于支撑

晶圆；多个所述晶圆沿自所述顶板指向所述底板

的方向依次放入所述晶圆槽；所述底板朝向所述

顶板的表面设置有至少一个传感器，所述传感器

用于检测置于所述晶圆槽的晶圆与所述底板之间

的距离并传输至控制器；所述控制器，连接所述

传感器，用于判断先后两次装载晶圆后所述传感

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器检测到的距离是否发生改变，若否，则确认所

述晶圆装载异常。本实用新型实现了对FOUP装置

内晶圆装载状态的检测，及时发现晶圆装载异

常，避免了晶圆损伤。

法律状态

法律状态公告日法律状态信息法律状态

2019-04-16授权授权

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权利要求说明书

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说明书

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