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CourseofSEMEDS
硕士研究生课程
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SEM-EDS理论与实践
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(1)
(1)
燕山大学材料科学与工程学院
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刘世民
刘世民
2006.12
CourseofSEMEDS
课程要点
一、电子束与样品的相互作用
二、扫描电子显微镜结构与原理简述
三、X射线能谱仪的结构与原理简述
四、定性分析与定量分析理论介绍
五、分组实验、实验报告与操作注意事项
六、脱机EDS分析软件及帮助文件的复制
CourseofSEMEDS
一、电子束与样品的相互作用
•散射
•相互作用区
•弹性散射信号源
•非弹性散射产生的信号源
•样品制备技术简述
CourseofSEMEDS
电子束与物质相互作用及产生的信息
CourseofSEMEDS
SEMEDS分析样品要求
•扫描电镜和能谱仪分析技术具有广泛适用性
固体（金属、陶瓷、玻璃等无机及有机类）、
生物、矿物、浆状物、液体、纺织品等客观
存在的任何物质
•材料学研究应用中，为了达到最佳分析效果，
需要被观察的样品
A、有一定的机械强度
B、有一定的导电性能
CourseofSEMEDS
二、扫描电子显微镜结构
与原理简述
•成像过程
•探测器
•样品和探测器在图像衬度形成中的作用
•图像质量评价
CourseofSEMEDS
扫描电子显微镜
扫描电子显微镜
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EPMA与场发射SEMEDS
电子探针-
电子探针EPMA与场发射SEM-EDS
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统系空真
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SEM原理示意图
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金刚石薄膜CourseofSEMEDS
与
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