DB32T 3459-2018 石墨烯薄膜微区覆盖度测试 扫描电子显微镜法.docxVIP

ICS17.040.20Q53

备案号：60497-2018DB32江苏省地方标准

DB32/T3459—2018

石墨烯薄膜微区覆盖度测试扫描电子显微镜法

Measurementofmicro-scalecoverageofgraphenefilmbyscanningelectronmicroscopy

2018-11-09发布2018-11-30实施

江苏省质量技术监督局发布

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I

目次

前言 II

1范围 1

2规范性引用文件 1

3术语和定义 1

4测试准备 2

5SEM测试 3

6图像处理 4

7微区覆盖度计算 4

8不确定度评定 4

9测试报告 4

附录A（资料性附录）实例 5

附录B（资料性附录）测试报告式样 7

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II

前言

本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。本标准由常州市质量技术监督局提出。

本标准由江苏省石墨烯标准化技术委员会归口。

本标准主要起草单位：江南石墨烯研究院、常州国成新材料科技有限公司、常州市计量测试技术研究所。

本标准主要起草人：董国材、张小敏、陈彩云、梁枫、周志峰、孙瑛。

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1

石墨烯薄膜微区覆盖度测试扫描电子显微镜法

1范围

本标准规定了扫描电子显微镜法测定石墨烯薄膜微区覆盖度的测试准备、SEM测试、图像处理及覆盖度计算等。

本标准适用于化学气相沉积法制备的各种金属基底上的、由于生长原因未完全覆盖的、畴间距小于

200um的石墨烯薄膜微区覆盖度的测定。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

JJG（教委）010分析型扫描电子显微镜检定规程

ISO/TS80004-13:2017纳米科技-术语-第13部分：石墨烯及相关二维材料(Nanotechnologies-vocabulary-part13：Grapheneandrelatedtwo-dimensional（2D）materials)

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。3.1

石墨烯graphene

由一个碳原子与周围三个近邻碳原子结合形成蜂窝状结构的碳原子单层。

注1：它是许多碳纳米物体的重要构建单元。

注2：由于石墨烯仅有一层，因此通常被称为单层石墨烯。石墨烯缩写为1LG，以便区别于缩写为2LG的双层石墨烯和缩写为FLG的少层石墨烯。

注3：石墨烯有边界，并且在碳-碳键遭到破坏的地方有缺陷和晶界。

[ISO/TS80004-13:2017,3.1.2.1]3.2

未覆盖区域uncoveredarea

SEM图像中重复出现的灰度最小，且表面没有褶皱的区域。3.3

覆盖区域coveredarea

SEM图像中未覆盖区域之外的其他区域。3.4

微区覆盖度micro-scalecoverage

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2

在微区范围中，石墨烯所覆盖的基底面积与总基底面积之比。注1：微区范围为500um500um以内。

注2：表面的损伤、杂质等不计入微观覆盖度范围。3.5

封闭覆盖区域grapheneislandarea

由封闭边缘环绕且边缘内部被石墨烯完全覆盖的区域。3.6

封闭未覆盖区域vacancyislandarea

由封闭边缘环绕且边缘内部未被石墨烯覆盖的区域。3.7

扫描电子显微术scanningelectronmicroscopy(SEM)

电子束扫描样品表面，通过检测和分析所获得的物理信息（例如二次电子、背散射电子、吸收电子和X射线辐射）来确定样品的结构、组成和形貌的方法。

[ISO/TS80004-13:2017,3.3.1.4]3.8

化学气相沉积chemicalvapourdeposition(CVD)

通常先加热，利用气态前驱体或混合前驱体的化学反应实现固体材料在衬底上的沉积。[ISO/TS80004-13:2017,3.2.1.1]