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超纯水系统是现在半导体生产上使用非常重要的设备，由于在工业生产上对超纯水的使用量非常大，一般的小型超纯水机并不能满足要求，而超纯水系统在这种时候就是用来提供大量生产用水。在半导体行业生产制造过程中，由于电子设备对冲洗用水中金属离子的含量要求非常高，必然需要增加使用CEDI电渗析技术才能将水中金属离子去除掉。
然而电渗析生产的产品水，水质可达到18MΩ·cm以上，已经属于高纯纯水，如果与空气接触，水质会瞬间下降。这就需要对于电渗析的产水进行封存，与空气隔绝，隔绝用的氮气纯水需99.999%。后面再将此部分的水净化成超高纯度的超纯水。
3.1工艺说明
超纯水系统总体来说一般可分为三个部分：超纯水
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